ICS 81.040.30 Q 35 中华人民共和国国家标准 GB/T 34177—2017 光刻用石英玻璃晶圆 Quartz glass wafer for lithography 2018-08-01实施 2017-09-07发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34177—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。 本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶 光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。 杨学东、孔敏、张应语。 SZG 229 1 GB/T34177—2017 光刻用石英玻璃晶圆 1范围 本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆）的术语和定义、分类、要求、试验方法、 检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS）、光电器件和发光二极管（LED）等光 刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T3284—2015石英玻璃化学成分分析方法 GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法 GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 JC/T185光学石英玻璃 JC/T655石英玻璃制品内应力检验方法 JC/T2205 5石英玻璃术语 3术语和定义 JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 总厚度变化 totalthicknessvariationTTV 石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差 3.2 平整度flatness 石英玻璃晶圆一个表面为理想平面时，例如，石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想、 平坦的吸盘上，其另一表面相对于规定的基准面的偏差，以测量范围内总的示值读数（TIR表示。 3.3 弯曲度bow 自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离。 注：中位面基准平面是由指定的圆周上的三个等距离点决定的平面，该圆周的直径小于石英玻璃晶圆标称直径。 3.4 翘曲度warp 自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面相对于参照平面的最大和最小距离之差。 1 GB/T 34177—2017 4分类 石英玻璃晶圆按纯度分为高纯石英玻璃晶圆（GC)和普通石英玻璃晶圆（PT）。 5要求 5.1 规格尺寸及尺寸偏差 5.1.1石英玻璃晶圆的形状如图1a）和图1b）所示，常规直径为50.80mm、76.20mm、100.00mm、 125.00mm、150.00mm、200.00mm、300.00mm。直径偏差应不超过±0.25mm。 a) 带定位直边的石英玻璃晶圆外形示意图 5mm 1. 00 mm*B- 25 nm 91.06- b）带定位角的石英玻璃晶圆外形示意图 说明： 一质量区； 1- 2 非质量区； 石英玻璃晶圆直径； a 石英玻璃晶圆定位直边长度。 图1石英玻璃晶圆外形示意图 2