ICS 71.100.99 G85 团体标准 T/DLSHXH 004—2020 电子工业用气体 二氧化碳 Gas for electronic industry —Carbon dioxid e 2020- 09 - 30发布 大连市石油和化工行业协会 发布 2020- 10 - 30实施 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 I 目 次 前 言 ................................ ................................ .............. II 1 范围 ................................ ................................ ................. 1 2 规范性引用 文件 ................................ ................................ .......1 3 术语和定义 ................................ ................................ ........... 2 4 技术要求 ................................ ................................ ............. 2 5 试验方法 ................................ ................................ ............. 2 6 包装、标志、贮运 ................................ ................................ .....3 7 安全要求 ................................ ................................ ............. 4 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本标准由大 连科利德 光电子材料有限公司提出。 本标准由大连石油和化工行业协会标准化工作委员会归口。 本标准负责起草单位： 大连石油和化工行业协会 、大连科利德光电子材料有限公司 本标准参加起草单位： 全椒科利德电子材料有限公司 、北京京东方光电科技有限公司 本标准主要起草人：施旖旎、 焦中鹏 、寻虎、李文博 、王明月 、孙瑞玉 本标准 2020年9月首次发布。 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 电子工业用气体 二氧化碳 1 范围 本标准规定了电子工业用气体二氧化碳的要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全警示。 本标准适用于以工业二氧化碳 为原料经纯化制备的电子工业用气体 二氧化碳。电子工业用气体 二氧 化碳主要 用于激光、电子 工业、反应堆气体冷却剂、科学研 究等领域。 分子式： CO 2 相对分子质量： 44.0095（按 2011年国际相对原子质量 ） 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢制无缝气瓶 GB/T 23938 高纯二氧化碳 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 5832.2 气体分析 微量水分的测定 第2部分：露点法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 1648 3 化学品安全技术说明书 编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 TSG R0006 气瓶安全技术 监察规程 特种设备安全 监察条例 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 危险化学品安全管理条例 危险货物运输管理规则 3 术语和定义 本标准中电子工业用气体二氧化碳是 指99.9999 %的二氧化碳产品 。 4 技术要求 电子工业用二氧化碳的 技术指标应符合 表 1 的规定。 表1技术要求 5 试验方法 5.1 检验规则 瓶装电子工业用二氧化碳应从 钢瓶阀门 气态出口，直接接入相关仪器 进样，逐瓶检验 。检验结果若 有一项不符合本标准要求时，则该瓶产品为不合格品。 5.2 二氧化碳纯度 二氧化碳 纯度按式 （1）计算： φ=100 -(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5)× 10-4 （1） 式中：φ— 二氧化碳 纯度（体积分数）， 10-2； φ1— 氧含量（体积分数）， 10-6； 项 目 名 称 指 标 二氧化碳（ CO 2）纯度（体积分数） /10-2 ≥ 99.9999 氧气（ O2）含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.5 氮气（ N2）含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.5 一氧化碳 （ CO）含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.1 总烃 （ THC）含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.1 水分 （ H2O）含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.8 总杂质含量（体积分数） /10-6 ≤ 1.0 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 φ2— 氮含量，10-6； φ3— 一氧化碳含量，10-6； φ4— 总烃含量，10-6； φ5— 水分含量， 10-6； 5.3 氧、氮、一氧化碳含量的测定 氧、氮、一氧化碳含量的测定见 附录 A。 5.4 总烃的测定 按GB/T 8984规定进行。 5.5 水分含量的测定 按GB/T 5832.1或GB/T 5832.2 规定执行，当测定结果 有异议时，以 GB/T 583 2.2规定的方法为仲 裁方法。 6 包装、标志、贮运 6.1 二氧化碳的包装、贮运应符合《气瓶安全 技术监察规程》、《危险货物运输管理规则》、《危险化 学品安全管理条例》和《特种设备安全检查条例 》的相关规定。包装标志应符合 GB 190规定。安全警 示标签应符合 GB 16804 、GB 15258 的规定。 6.2 包装二氧化碳的气瓶应符合 GB 5099 的规定，气瓶颜色标记应符合 GB/T 7144的规定，气瓶充装 应符合 GB 14193 规定。 6.3 二氧化碳的最大 充装量按式（ 2）计算： m = Fr × V （2） 式中： m—二氧化碳的最大充装量 ，单位为千克（ kg）； V—气瓶水容积，单位为升（ L）； Fr—二氧化碳 充装系数， 单位为千克每升（ kg/L）。公称工作压力为 20.0 MPa 时， Fr=0.74； 公称工作压力为 15.0 MPa 时， Fr=0.60。 6.4 二氧化碳出厂时应附 有质量合格证，其内容至少 应包括： 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 a) 产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； b) 生产日期或批号，充装量，产品技术指标； c) 本标准的编号，检验员号。 6.5 二氧化碳的生产企业应为顾客提供安全 技术说明书，其内容应符合 GB 164 83的规定。 7 安全要求 按GB/T 23938规定进行。 _____________________ 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH00 4-2020 附 录 A （规范性附录） 二氧化碳 中氧、氮、一氧化碳含量的测定 A.1 方法提要 采用主峰切割、氦离子化气相色谱法测定二氧化碳中的氧、氮、一氧化碳含量。待测样品在载气的 携带下首先流入切割柱，二氧化碳在切割柱被保留，待氧、氮