ICS 71.100.99 G85 团体标准 T/DLSHXH 006—2020 电子工业用气体 硫化氢 Gas for electronic industry —Sulfuretted hydrogen 2020- 09 - 30发布 大连市石油和化工行业协会 发布 2020- 10 - 30实施 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 006- 2020 I 目 次 前 言 ................................ ................................ .............. II 1 范围 ................................ ................................ ................. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ .......1 3 术语和定义 ................................ ................................ ........... 2 4 技术要求 ................................ ................................ ............. 2 5 试验方法 ................................ ................................ ............. 2 6 检验规则 ................................ ................................ ............. 3 7 标志、包装、运输和贮存 ................................ ............................... 3 8 安全要求 ................................ ................................ ............. 4 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 006- 2020 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本标准由大连科利德光电子材料有限公司提出。 本标准由大连石油和化工行业协会标准化工作委员会归口。 本标准负责起草单位 ：大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会 本标准参加起草单位： 凯盛光伏 材料有限公司、全椒科利德电子材料有限公司 本标准主要起 草人：施旖旎、刘颖、 裴凯、徐雪婷 、于颖 、孙瑞玉 本标准 2020年9月首次发布。 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 00 6- 2020 1 电子工业用气体 硫化氢 1 范围 本标准规定了电子工业用气体硫化氢的要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安 全要求。 本标准适用于以工业硫化氢为原料经纯化制备的电子工业用气体 硫化氢。电子工业用气体 硫化氢主 要用于半导体 PV、LED、LCD、IC等领域。 分子式： H2S 相对分子质量： 34.08（按 2011年国际相 对原子质量 ） 2 规范性引用文件 下列文件对于 本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期 的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用 文件，其最新版 本（包括所有的 修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢制无缝气瓶 GB/T 5274 气体分析 校准用混合气体的制备 称量法 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 1648 3 化学品安全技术说明书 编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱仪 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 特种设备安全监察条例 危险化学品安全管 理条例 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 00 6- 2020 2 危险货物运输管理规则 3 术语和定义 本标准中电子工业用气体 硫化氢是指99.99%的硫化氢产品。 4 技术要求 电子工业用气体 硫化氢技术指标应符合 表1的要求。 表1 技术指标 5 试验方法 5.1 硫化氢的纯度 99.99%硫化氢的纯度按式 （1）计算： φ=100 -(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6+φ7+φ8)× 10-4 （1） 式中： φ— 硫化氢的纯度，10-2 (V/V)； φ1— 氢含量，10-6 (V/V)； φ2— 氧(氩)含量，10-6 (V/V)； φ3— 氮含量，10-6 (V/V)； φ4— 二氧化硫 含量，10-6 (V/V)； 项 目 指 标 硫化氢纯度， 10-2(V/V) ≥99.99 氢含量， 10-6(V/V) ≤30 氧(氩)含量， 10-6(V/V) ≤5 氮含量， 10-6(V/V) ≤15 二氧化硫 含量， 10-6(V/V) ≤10 二硫化碳 含量， 10-6(V/V) ≤10 二氧化碳含量， 10-6(V/V) ≤15 甲烷含量， 10-6(V/V) ≤15 水含量， 10-6(V/V) ≤20 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 00 6- 2020 3 φ5— 二硫化碳 含量，10-6 (V/V)； φ6— 二氧化碳含量， 10-6 (V/V)； Φ7— 甲烷含量含量 ，10-6 (V/V)； Φ8— 水含量，10-6 (V/V)； 5.2 氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳 、氧硫化碳、二硫化碳含量的测定 5.2.1 原理 按GB/T 28726规定执行 5.2.2 仪器 GC126 -PDD气相色谱仪 ，用PDD检测器。 5.2.3 测定条件 前进样器 ：55℃ ON 柱 箱 ：50℃ ON 前检测器 ：130℃ ON ；极性： OFF 灵敏度： 10e9 H2S全分析：（文件序列： 09） 外标法定量，标准气以氦气为底气，含 氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧硫化碳、 二硫化碳 各组份。标准气制备符合 GB/T 5274的规定。 5.3 水含量的测定 水含量的测定按 GB/T 5832.1 规定执行。 6 检验规则 6.1 出厂检验 硫化氢产品应逐 瓶检验并验收，出厂检验项目为包括本标准要求中的全部项目。 6.2 判定规则 当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。 7 标志、包装、运输和贮存 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 00 6- 2020 4 7.1 硫化氢包装标志应符 合GB 190的相关规定，包装容器 上应标明“硫化氢 ”字样；颜色标志应符合 GB/T 7144的规定； 标签应符合 GB 16804 、GB 15258 规定的要求。 7.2包装容器采用专用气瓶，气瓶使用应符 合GB 5099 的规定。 7.3硫化氢的 包装及贮运应符合《气瓶 安全技术监察规程》、 《危险货物运输管理规则》 、《危险化学 品安全管理条例》 和《特种设备安全监察条例》的相关规定。 7.4应防止瓶口被污染和泄漏。 7.5硫化氢的充装应符 合GB 14193 的相关规定。 7.6瓶装硫化氢的最大充装量按 式（ 2）计算： m=F r· V （2） 式中： m—气瓶内硫化氢的质量， kg； V—气瓶标明的内容积， L； Fr—硫化氢的充装系数， 0.66 kg/L。 7.7硫化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括： 产品名称，出厂名称，危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，充装重 量（ Kg）； 本标准号及技术指标，检验员号。 7.8硫化氢生产企业应为顾客提供安全技术说明书，其内容应符合 GB 164 83的规定。 8 安全要求 8.1 硫化氢易燃，与空气混合能形成爆炸 性混合物， 禁止靠近 明火或高热能，避免引起燃烧爆炸。 8.2储存于阴凉、通风的库房。 应与氧化剂、碱类 分开存放，切忌混储。 8.3 采用防爆 型照明、通风设施。禁止使用易 产生火花的机械设备和工具。 储区应备有泄漏应急处理设 备。搬运时轻 装轻卸