ICS 71.100.20 G85 团体标准 T/DLSHXH 007—2020 电子工业用气体 氧硫化碳 Gas for electronic industry —Carbonyl sulfide 2020- 09 - 30发布 2020- 10 - 30实施 大连市石油和化工行业协会 发布 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 I 目 次 前 言 ................................ ................................ ................................ ................................ ............................ II 电子工业用气体 氧硫化碳 ................................ ................................ ................................ .............................. 1 1 范围 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ................................ ................................ ............ 1 3 术语与定义 4 技术要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 1 5 试验方法 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 2 6 检验规则 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 2 7 标志、包装、运输和贮存 ................................ ................................ ................................ ............................ 3 8 安全要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 3 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第 1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本标准由大连科利德光电子材料有限公司提出。 本标准由大连石油和化工行业协会标准化工作委员会归口。 本标准负责起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会 本标准参加起草单位 ：全椒科利德 电子材料有限公司 本标准主要起草人： 施旖旎、 裴凯、石琳、毕聪智 、王明月 、孙瑞玉 本标准 2020年9月首次发布。 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 1 电子工业用气体 氧硫化碳 1 范围 本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试 验方法、检验规则及产 品的标志、包装、 贮 运及安全要求。 本标准适用于于以工业氧硫化碳为 原料经纯化制备的电子工业用气体 氧硫化碳 。电子工业用气体 氧 硫化碳主要用于集成电路 领域。 分子式：COS 相对分子质量： 60.07（按 2011年国际相对原子质量 ） 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢制无缝气瓶 GB/T 527 4 气体分析 校准用混合气体的制 备 称量法 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测 定 第1部分：电解法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 1648 3 化学品安全技术说明书 编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱仪 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理 条例 特种设备安全监察条例 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 2 危险货物运输管理规则 3 术语和定义 本标准中电子工业用气体 氧硫化碳 是指99.99%的氧硫化碳 产品。 4 技术要求 电子工业用气体氧硫化碳技术指标应符合 表1的要求。 表1 技术指标 5 试验方法 5.1 氧硫化碳的纯度 99.99%氧硫化碳的纯度按式 （1）计算： φ=100 -(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6+φ7+φ8)× 10-4 （1） 式中：φ— 氧硫化碳的纯度 ，10-2 (V/V)； φ1— 氧含量，10-6 (V/V)； φ2— 氮含量，10-6 (V/V)； φ3— 甲烷含量 ，10-6 (V/V)； φ4— 一氧化碳含量 ，10-6 (V/V)； 项 目 指 标 氧硫化碳纯度， 10-2(V/V) ≥99.99 氧含量， 10-6(V/V) ≤10 氮含量， 10-6(V/V) ≤20 甲烷含量， 10-6(V/V) ≤5 一氧化碳含量， 10-6(V/V) ≤10 二氧化碳含量， 10-6(V/V) ≤20 硫化氢含量， 10-6(V/V) ≤10 二硫化碳含量 ，10-6(V/V) ≤5 水含量， 10-6(V/V) ≤10 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 3 φ5— 二氧化碳含量， 10-6 (V/V)； φ6— 硫化氢水含量 ，10-6 (V/V)； Φ7—二硫化碳 含量，10-6 (V/V)； Φ8—水含量，10-6 (V/V)； 5.2 氧、氮、甲烷 、一氧化碳、 二氧化碳、硫化氢 、二硫化碳含量的测定 5.2.1 原理 按GB/T 28726规定执行 5.2.2 仪器 带有PDD检测器的气相 色谱仪 5.2.3 测定条件 载气：高纯氦，纯度 >99.999% 检测器温度： 130℃ 柱箱：初始时间 15min，以 15℃/min的速率升至 100℃，保持 45min。 外标法定量，标准气以氦气为底气，含 氧、氮、甲烷 、一氧化碳、 二氧化碳、硫化氢 、二硫化碳 各组份。标准气制备符合 GB/T 5274的规定。 5.3 水含量的测定 水含量的测定 按GB/T 5832.1 规定执行。 6 检验规则 6.1 出厂检验 氧硫化碳产品应逐 瓶检验并验收，出厂检验项目为包括本标准要求中的全部项目。 6.2 判定规则 当检验结果 有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格，以确 保每一包装氧硫 化 碳产品符合本 标准技术要求。 7 标志、包装、运输和贮 存 7.1 氧硫化碳包 装标志应符合 GB 190的相关规定，包装容器上应标明“氧硫化碳”字样；颜色标志应 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 007- 2020 4 符合GB/T 7144 的规定；标签应符合 GB 16804 、GB 15258 规定的要求 。 7.2 包装容器采用专用气瓶，气瓶使 用应符合