书
书
书犐犆犛
31
.
200
犔
55
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A
犌犅
/
犜
34900
—
2017
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25
(
犕犈犕犛
)
/G26 /G27
/G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E
犕犈犕犛
/G21 /G2F /G30
/G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38
犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狔狊狋犲犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔
—
犕犲犪狊狌狉犻狀犵犿犲狋犺狅犱犳狅狉狉犲狊犻犱狌犪犾狊狋狉犪犻狀犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狊狅犳犕犈犕犛犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狊狌狊犻狀犵犪狀狅狆狋犻犮犪犾犻狀狋犲狉犳犲狉狅犿犲狋犲狉
2017
11
01
/G39 /G3A
2018
05
01
/G3B /G3C
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33
/G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39
/G39 /G3A
书
书
书/G21
/G22
/G21 /G22
Ⅲ
…………………………………………………………………………………………………………
1
/G23 /G24
1
………………………………………………………………………………………………………
2
/G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A
1
…………………………………………………………………………………………
3
/G2B /G2C /G2D /G2E /G2F
1
………………………………………………………………………………………………
4
/G30 /G31 /G32 /G33
1
…………………………………………………………………………………………………
5
/G34 /G35 /G30 /G31 /G36 /G37 /G2E /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D
6
…………………………………………………………………………
/G3E /G3F
A
(
/G40 /G41 /G26 /G3E /G3F
)
/G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G39 /G49 /G4A /G4B /G4C /G2D /G3A /G3B /G4D /G2B /G4E /G4F
7
…………………………………
/G3E /G3F
B
(
/G25 /G23 /G26 /G3E /G3F
)
/G50 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G2D /G5B /G5C /G5D /G4B /G31
9
………………………………………
Ⅰ
犌犅
/
犜
34900
—
2017
/G23
/G24
/G5E /G5F /G60 /G61 /G62
GB
/
T1.1
—
2009
/G63 /G64 /G39 /G25 /G65 /G66 /G67
。
/G5E /G5F /G60 /G68 /G69 /G6A /G47 /G6B /G6C /G4D /G2B /G5F /G60 /G6D /G4D /G2B /G6E /G6F /G70
(
SAC
/
TC336
)
/G71 /G64 /G72 /G73 /G74
。
/G5E /G5F /G60 /G3A /G3B /G66 /G67 /G75 /G76
:
/G77 /G78 /G79 /G43
、
/G7A /G6B /G7B /G7C /G7D /G7E /G7F /G7A /G80
、
/G6A /G81 /G82 /G83 /G82 /G52 /G84 /G83 /G2A /G85 /G31 /G86 /G87 /G88 /G89 /G7A /G80
、
/G8A
/G8B /G8C /G8D /G79 /G43
、
/G7A /G6A /G6C /G8E /G8F /G4D /G90 /G91 /G92 /G93 /G94 /G95 /G96 /G97 /G98 /G99
。
/G5E /G5F /G60 /G3A /G3B /G66 /G67 /G9A
:
/G9B /G9C
、
/G9D /G9E /G9F
、
/GA0 /GA1 /GA2
、
/GA3 /GA4 /GA5
、
/GA6 /GA7 /GA8
、
/GA9 /GAA /GAB
、
/GAC /GAD
、
/GAE /GAF
。
Ⅲ
犌犅
/
犜
34900
—
2017
/G25 /G26 /G27 /G28 /G29
(
犕犈犕犛
)
/G2A /G2B
/G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32
犕犈犕犛
/G25 /G33 /G34
/G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C
1
/G3D /G3E
/G5E /G5F /G60 /G25 /G2E /GB0 /GB1 /GA3 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /GB2 /GB3 /G39 /G47 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /G52 /G53 /G4B /GBB /G7F /GBC /GBD /G57 /GBE /G5D /G30 /G31 /G39 /G32 /G33
。
/G5E /G5F /G60 /GBF /G28 /GA3 /G52 /G53 /GC0 /GC1 /GC2 /G36 /GC3 /GA3
4%
/GC4 /GC5 /G28 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /GC6 /GC7 /GB2 /GB3 /G52 /G53 /G4B /GBB /G39 /G47 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8
/GB9 /GBA
。
2
/G3F /G3D /G40 /G41 /G42 /G43 /G44
/GC8 /GC9 /G29 /G2A /GCA /GA3 /G5E /G29 /G2A /G39 /GBE /G28 /GCB /GCC /G36 /GCD /GCE /G39
。
/GCF /GCB /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /G27 /G28 /G29 /G2A
,
/GD3 /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /GD4 /G5E /GBF /G28 /GA3 /G5E /G29
/G2A
。
/GCF /GCB /G36 /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /G27 /G28 /G29 /G2A
,
/GD5 /GD6 /GD7 /GD4 /G5E
(
/GD8 /GD9 /G99 /GDA /G39 /GDB /GDC /G75
)
/GBF /G28 /GA3 /G5E /G29 /G2A
。
GB
/
T3505
/G7C /GDD /GDE /GDF /G4D /G2B /G25 /G23
(
GPS
)
/G52 /G53 /GB9 /GBA
/G54 /G55 /G33
/G2B /G2C
、
/G2E /G2F /GE0 /G52 /G53 /GB9 /GBA /GE1 /G5A
GB
/
T26111
/G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3
(
MEMS
)
/G4D /G2B
/G2B /G2C
GB
/
T26113
/G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3
(
MEMS
)
/G4D /G2B
/G47 /GDE /GDF /G31 /GE4 /G2E /GE5 /G65
GB
/
T34893
—
2017
/G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3
(
MEMS
)
/G4D /G2B
/GB1 /GA3 /G42 /G43 /G44 /G45 /G39
MEMS
/G47 /GB9 /GBA /G53 /GE6 /GE7 /G38 /G30 /G31
/G32 /G33
3
/G2B /G45 /G46 /G47 /G48
GB
/
T3505
、
GB
/
T26111
/G2D
GB
/
T34893
—
2017
/GE8 /G2E /G39 /GE9 /GE0 /GC8 /GC9 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /GBF /G28 /GA3 /G5E /G29 /G2A
。
3
.
1
/G35 /G36 /G37 /G38
狉犲狊犻犱狌犪犾狊狋狉犪犻狀
/GEA /GEB /GA3 /GEC /G41
、
/GB9 /GBA /GE6 /GED /G3C /GEE /G26 /G5D /G4B
、
/G36 /GEF /GF0 /GF1 /G38 /GF2 /GF3
、
/G36 /GEF /GF0 /GF4 /G5D /GF5 /G4B /GF6 /G39 /G72 /GF7 /GF8 /GF9 /GFA /G39 /GE6 /GBE /G5D
。
4
/G39 /G3A /G3B /G3C
4
.
1
/
GB-T 34900-2017 微机电系统 MEMS 技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
文档预览
中文文档
12 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示:本文档共12页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2025-02-21 14:21:26上传分享