ICS 31.080.99 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32817—2016 半导体器件微机电器件 MEMS总规范 SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices- Generic specificationfor MEMS (IEC62047-4:2008,SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices- Part 4:Generic specification for MEMS,MOD) 2016-08-29发布 2017-03-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会

GB-T 32817-2016 半导体器件微机电器件 MEMS总规范

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GB-T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

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