(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210037149.1 (22)申请日 2022.01.13 (71)申请人 浙江蓝晶芯微电子有限公司 地址 321000 浙江省金华市兰 溪经济开发 区江南高新园区致远路85号 (72)发明人 张斌　郑宝春　郑宝生　 (74)专利代理 机构 深圳市兰锋盛世知识产权代 理有限公司 4 4504 代理人 吴巧华 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 3/14(2006.01) (54)发明名称 一种石英晶体片加工用的表面除尘清洗装 置及其使用方法 (57)摘要 本发明公开了一种石英晶体片加工用的表 面除尘清洗装置及其使用方法， 涉及石英晶体片 除尘清洗装置技术领域； 为了提高除尘的速率； 该表面除尘清洗装置包括处理箱主体、 放置组 件、 清洗机构和除尘机构； 所述除尘机构包括支 架、 液压缸、 护板、 凸形杆、 弹簧一、 拉动环、 滑 轮、 拉绳、 横移板一、 限位板、 连接杆、 横移板二和旋 转刷辊； 所述支架固定于处理箱主体一侧内壁， 凸形杆活动连接于支架内壁， 弹簧一卡接于支架 和凸形杆之间； 该表面除尘清洗装置的使用方 法， 包括以下步骤： 将石英晶片放置在容置架内。 本发明通过液压缸驱动拉动环沿着横向对移动 凸杆进行水平拉动， 使 得横移板一和横移板二在 滑轮的调向作用下沿着相反的方向进行移动。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 114308795 A 2022.04.12 CN 114308795 A 1.一种石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 包括处理箱主体(1)、 放置组件、 清洗 机构和除尘机构， 其特 征是； 所述除尘机构包括支架(4)、 液压缸(8)、 护板(9)、 凸形杆(13 )、 弹簧一(14)、 拉动环 (16)、 滑轮(18)、 拉绳(19)、 横移板一(20)、 限位板(22)、 连接杆(23)、 横移板二(26)和旋转 刷辊(27)； 所述支架(4)固定于处理箱主体(1)一侧内壁， 凸形杆(13)活动连接于支架(4)内壁， 弹 簧一(14)卡接 于支架(4)和凸形 杆(13)之间， 横移板一(20)固定 于凸形杆(13)一侧外壁； 液压缸(8)固定于处理箱主体(1)一侧外壁， 连接杆(23)固定于液压缸(8)输出端， 拉动 环(16)固定 于连接杆(23)一侧外壁； 移动凸杆(25)活动连接于拉动环(16)圆周内壁， 横移板二(26)固定于移动凸杆(25)一 侧外壁； 护板(9)固定于处理箱主体(1)一侧内壁， 滑轮(18)活动连接于护板(9)底部外壁， 拉绳 (19)利用滑轮(18)活动连接 于横移板一(20)和横移板二(26)之间； 限位板(22)固定于处理箱主体(1)一侧内壁， 两个以上旋转刷辊(27)分别 活动连接于 横移板一(20)顶部 外壁和横移板二(26)顶部 外壁。 2.根据权利要求1所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 清洗机构包括清洗液清洗组件和清水清洗组件； 所述清洗液清洗组件 包括液体箱(5)、 隔板(6)、 加注管(7)和清洗液导出孔(12)； 所述液体箱(5)固定于处理箱主体(1)顶部， 隔板(6)固定于液体箱(5)内壁， 加注管(7) 固定于液体箱(5)一侧外壁， 清洗液导出孔(12)开设于液体箱(5)底部 。 3.根据权利要求2所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 放置组件包括推动柱(24)、 顶板(28)、 弯管(29)、 漏孔(30)、 垫板(31)、 容置架(32)和弹簧二 (33)； 所述弯管(29)活动连接于处理箱主体(1)一侧内壁， 顶板(28)固定于弯管(29)一侧外 壁， 弹簧二(33)卡接于处理箱主体(1)和顶板(28)之间， 垫板(31)固定于弯管(29)顶部外 壁， 容置架(32)固定于垫板(31)顶部外壁， 所述漏孔(30)开设于垫板(31)表 面， 所述推动柱 (24)固定 于拉动环(16)一侧外壁。 4.根据权利要求3所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 清水清洗组件 包括高压喷管(10)和 增压泵(1 1)； 所述增压泵(11)固定于液体箱(5)外壁， 两个高压喷管(10)分别通过法兰固定于增压 泵(11)输出端和输入端。 5.根据权利要求4所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 横移板一(20)和横移板二(26)顶部 外壁均固定有十 字形拨动柱(21)。 6.根据权利要求5所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 其中 一个所述十 字形拨动柱(21)顶部 外壁固定有密封 板(17)。 7.根据权利要求6所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 处理箱主体(1)底部 外壁通过法兰固定有排液 管(2)。 8.根据权利要求7所述的一种 石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置， 其特征是， 所述 处理箱主体(1)内壁固定有过 滤网(3)， 所述拉动环(16)底部 外壁固定有刮动架(15)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114308795 A 29.一种根据权利要求1 ‑8任一所述的石英晶体片加工用的表面除尘清洗装置的使用方 法， 其特征是， 包括以下步骤： S1： 将石英晶片放置在容置架(32)内； S2： 利用旋转刷辊(27)对石英晶片表面进行摩擦除尘， 清洗液通过清洗液导出孔(12) 落入到石英晶片表面； S3： 除尘后将垫 板(31)从旋转刷辊(27)内推出； S4： 利用高压喷管(10)和 增压泵(1 1)对石英晶片表面进行高压清水冲洗； S5： 将清洗 完毕后的石英晶片取 出。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114308795 A 3