(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210825579.X (22)申请日 2022.07.14 (71)申请人 深圳市高科兴机电有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区华 荣路355号厂房四1层 (72)发明人 周元科　吴宁明　 (74)专利代理 机构 宁波华拓同亿专利代理事务 所(普通合伙) 33432 专利代理师 鲍龙凤 (51)Int.Cl. G01L 19/06(2006.01) G01L 19/00(2006.01) G01L 9/00(2006.01) G01K 7/18(2006.01) G01D 21/02(2006.01) (54)发明名称 一种抗过载能力强的压力及温度多参量传 感器 (57)摘要 本发明公开了传感器技术领域的一种抗过 载能力强的压力及温度多参量传感器， 包括基 片、 弹性膜片、 下电极和上电极， 所述基片底部设 置有弹性膜片， 它具有结构简单、 灵敏度高、 功耗 低、 动态响应特性好、 抗过载能力强等特点， 其温 度测量与传统的Pt100相兼容， 方便电路设计， 集 成化温压一体化传感器， 采用厚膜传感、 烧结工 艺技术， 通过厚膜混合集成布线， 将信号感知电 路集成在感压、 测温衬底上， 其工艺成熟、 简单， 产品适合在恶劣工矿条件下工作的问题,多参量 传感器温度的设计： 用真空沉积的薄膜技术把铂 溅射在传感器的陶瓷衬底(基片)上， 膜厚控制在 2μm左右， 再用玻璃烧结料把Ni(or  Pd)电极固 定， 最后， 经激光调阻制成标准的薄膜铂电阻。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 115406576 A 2022.11.29 CN 115406576 A 1.一种抗过载 能力强的压力及温度多参量传感器， 包括基片(1)、 弹性膜片(2)、 下电极 (3)和上电极(4)， 其特征在于： 所述基片(1)底部设置有弹性膜片(2)， 所述基片(1)和弹性 膜片(2)之间顶部和底部分别设置有下电极(3)和上电极(4)。 2.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述压力缓冲结构包括压力缓冲 柱和固定件， 所述固定件与所述引压孔连接以将压力缓冲 柱固定于所述引压孔内； 所述流道位于所述压力缓冲柱上， 所述固定件上设有用于连通流 道与引压孔的孔道。 3.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述流道包括依 次连通的第一流道、 第二流道和第三流道； 所述第二流道布置于所述压力 缓冲柱的外周侧； 所述第一流道位于所述压力缓冲柱内部， 一端与引压孔相连通， 另一端则 与第二流道的一端相连通； 所述第三流道位于所述压力缓冲柱内部， 一端与第二流道的另 一端相连通， 另一端则与所述内腔相连通。 4.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述第一 流道和第三 流道均呈直线。 5.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述第二 流道呈S形或螺 旋状。 6.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述固定件与所述压力缓冲柱相接触的一端设有引压腔， 用于连通所述 孔道与第一 流道。 7.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述固定件为固定 螺钉， 与所述引压孔螺纹连。 8.根据权利要求1所述的一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 其特征在于： 所述压力缓冲柱和固定件为 一体化结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115406576 A 2一种抗过载能力强的压力及 温度多参量传感器 技术领域 [0001]本发明涉及传感器技术领域， 具体为一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感 器。 背景技术 [0002]压力、 温度传感器是传感器中较大门类， 广 泛应用于汽车、 工业、 物联 网等领域， 对 所处气体或液体氛围的压力或温度测量， 是闭环反馈系统的前端， 负责物理量的采集， 以实 现系统精确控制。 [0003]目前， 大多数的压力传感器都是单一参数的物理量测量， 而集成化和微型化是当 下国内外传感器研究的重要发展方向和热点， 将压力和温度 的测量集成在一个微型腔体 中， 两种参量可以同时准确测量。 它具有结构简单、 灵敏度高、 功耗低、 动态响应特性好、 抗 过载能力强等特点， 其温度测量与传 统的Pt100相兼容， 方便电路设计， 集成化温压一体化 传感器， 采用厚膜传感、 烧结工艺技术， 通过厚膜混合集成布线， 将信号感知电路集成在感 压、 测温衬底上， 其工艺成熟、 简单， 产品适合在恶劣工矿条件下工作， 为此， 我们提出一种 抗过载能力强的压力及温度多参 量传感器。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种抗过载能力强的压力及温度多参量传感器， 以解决上 述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种抗过载能力强的压力及温度多 参量传感器， 包括基片、 弹性膜片、 下电极和上电极， 所述基片底部 设置有弹性膜片， 所述基 片和弹性膜片之间顶部和底部分别设置有下电极和上电极。 [0006]优选的， 所述压力缓冲结构包括压力缓冲柱和固定件， 所述固定件与所述引压孔 连接以将压力缓冲柱固定于所述引压孔内； 所述流道位于所述压力缓冲柱上， 所述固定件 上设有用于连通 流道与引压孔的孔道。 [0007]优选的， 所述流道包括依次连通的第一流道、 第二流道和第三流道； 所述第二流道 布置于所述压力缓冲柱的外周侧； 所述第一流道位于所述压力缓冲柱内部， 一端与引压孔 相连通， 另一端则与第二流道的一端相连通； 所述第三流道 位于所述压力缓冲 柱内部， 一端 与第二流道的另一端相连通， 另一端则与所述内腔相连通。 [0008]优选的， 所述第一 流道和第三 流道均呈直线。 [0009]优选的， 所述第二 流道呈S形或螺 旋状。 [0010]优选的， 所述固定件与所述压力缓冲柱相接触的一端设有引压腔， 用于连通所述 孔道与第一 流道。 [0011]优选的， 所述固定件为固定 螺钉， 与所述引压孔螺纹连。 [0012]优选的， 所述第一 卡块和第一 卡槽相适配。 [0013]优选的， 所述压力缓冲柱和固定件为 一体化结构。说　明　书 1/3 页 3 CN 115406576 A 3