ICS 29.020 J 09 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T5226.33—2017/IEC60204-33:2009 机械电气安全机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件 Electrical safety of machineryElectrical equipment of machines- Part33:Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electrical equipmentof machines- Part 33:Requirements for semiconductorfabrication equipment,IDT) 2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会

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