(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122726702.6 (22)申请日 2021.11.08 (73)专利权人 揭阳市恒胜金属材 料有限公司 地址 522000 广东省揭阳市揭东区试验区 管委会大楼对面 (72)发明人 谢惠杰　 (51)Int.Cl. C21D 1/26(2006.01) C21D 9/673(2006.01) B01D 29/03(2006.01) (54)实用新型名称 便于带钢加工走 料的天然气罩式退火炉 (57)摘要 本实用新型公开了便于带钢加工走料的天 然气罩式退火炉， 包括支架和固定架， 固定架固 定连接于支架的顶端， 支架的内侧设置有驱动机 构， 固定架的内侧设置有降温机构， 降温机构包 括集水管、 连接管和喷头， 集水管固定连接于固 定架顶端的内侧， 连接管设置有多个且均匀固定 连接于集水管的底端。 本实用新型通过在支架的 内侧均匀设置有驱动辊， 能有效带动钢材进行运 动， 便于快速进行冷却工作， 通过在固定架的顶 端均匀设置有连接管， 连接管的底端均匀固定连 接有喷头， 能快速对钢材进行降温工作， 通过在 固定架的两侧均设置有散热箱， 能在降温的同时 对内部的热量进行排出， 提高了降温的效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216303909 U 2022.04.15 CN 216303909 U 1.便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 包括支架(1)和固定架(2)， 其特征在于， 所 述固定架(2)固定连接于支架(1)的顶端， 所述支架(1)的内侧设置有驱动机构， 所述固定架 (2)的内侧设置有降温机构； 所述降温机构包括集水管(5)、 连接管(6)和喷头(7)， 所述集水管(5)固定连接于固定 架(2)顶端的内侧， 所述连接管(6)设置有多个且均匀固定连接于集水管(5)的底端， 所述喷 头(7)设置有多个且均匀固定连接于连接管(6)的底端， 所述喷头(7)设置于支架(1)的顶 端。 2.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 其特征在于， 所述驱 动机构包括驱动辊(3)， 所述驱动辊(3)设置有 多个且均匀转动连接 于支架(1)的内侧。 3.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 其特征在于， 所述支 架(1)的内侧设置有过 滤网(8)和集水箱(10)， 所述 集水箱(10)设置 于过滤网(8)的下 方。 4.根据权利要求3所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 其特征在于， 所述过 滤网(8)的两侧均卡 合连接有卡接 头(9)， 所述 卡接头(9)固定连接 于支架(1)的内侧。 5.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 其特征在于， 所述固 定架(2)的两侧均固定连接有散热箱(4)， 所述散热箱(4)的内侧固定连接有电机外壳(11)， 所述电机 外壳(11)的内侧固定连接有电机(12)。 6.根据权利要求5所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 其特征在于， 所述电 机(12)的输出端固定连接有散热扇片(13)， 所述散热扇片(13)转动连接于散热箱(4)的内 侧， 所述散热箱(4)的一侧设置有排 风口(14)， 所述散热箱(4)的另一侧设置有散热口(15)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216303909 U 2便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉 技术领域 [0001]本实用新型 涉及领域， 特别涉及便 于带钢加工走 料的天然气罩式退火炉。 背景技术 [0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺， 其包括加热多个半导体晶片以影 响其电性能， 热 处理是针对不同的效果而设计的， 可以加热晶片以激活掺杂剂， 将薄膜转换 成薄膜或将薄膜转换成晶片 衬底界面， 使致密沉积的薄膜， 改变生长的薄膜的状态， 修复注 入的损伤， 移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底， 退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中， 例如氧化， 或者可以自己处理， 退火炉是由专门为 加热半导体晶片而设计的设备完成的， 退火炉是节能型周期式作业炉， 超节能结构， 采用纤 维结构， 节电6 0％。 [0003]现有技术中退火工艺使用的退火炉包括有加热炉和冷却炉， 冷却炉内通过喷洒水 进行降温处理， 实际喷洒水进 行降温冷却处理的过程中， 会有 大量的水蒸气产生， 大量的水 蒸气会弥漫在冷却区域导致待冷却的工件周围温度过高， 使得工件的冷却效果差， 冷却效 率低， 且直接喷洒水体后， 水流 直接流出 无法进行循环利用， 造成水体的浪费。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉， 以解决上述 背景技术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 便于带钢加工走料的天然气罩 式退火炉， 包括支架和固定架， 所述固定架固定连接于支架的顶端， 所述支架的内侧设置有 驱动机构， 所述固定架的内侧设置有降温机构； [0006]所述降温机构包括集水管、 连接管和喷头， 所述集水管固定连接于固定架顶端的 内侧， 所述连接管设置有多个且均匀固定连接于集水管 的底端， 所述喷头设置有多个且均 匀固定连接 于连接管的底端， 所述喷头设置 于支架的顶端。 [0007]优选的， 所述驱动机构包括驱动辊， 所述驱动辊设置有多个且均匀转动连接于支 架的内侧。 [0008]优选的， 所述支架的内侧 设置有过滤网和集水箱， 所述集水箱设置于过滤网的下 方。 [0009]优选的， 所述过滤网的两侧均卡合连接有卡接头， 所述卡接头固定连接于支架的 内侧。 [0010]优选的， 所述固定架的两侧均固定连接有散热箱， 所述散热箱的内侧固定连接有 电机外壳， 所述电机 外壳的内侧固定连接有电机 。 [0011]优选的， 所述电机 的输出端固定连接有散热扇片， 所述散热扇片转动连接于散热 箱的内侧， 所述散热箱的一侧设置有排 风口， 所述散热箱的另一侧设置有散热口。 [0012]本实用新型的技 术效果和优点：说　明　书 1/3 页 3 CN 216303909 U 3