(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122737520.9 (22)申请日 2021.11.09 (73)专利权人 深圳市百禾芯 半导体有限公司 地址 518100 广东省深圳市龙岗区坪 地街 道六联社区长山工业区168号A5 栋101 (72)发明人 晁中华　 (74)专利代理 机构 合肥利交桥专利代理有限公 司 34259 专利代理师 蔡辉 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/64(2006.01) B01D 29/94(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片生产用的芯片清洗装置 (57)摘要 本实用新型涉及芯片清洗领域， 具体为一种 芯片生产用的芯片清洗装置， 包括回收底座， 所 述回收底座的顶端中部和右端分别固定连接有 清洗液暂存箱和过滤盒， 所述回收底 座的顶端固 定连接有进料清洗箱。 本实用新型要解决的技术 问题是清洁质量差和清洁效率降低。 为了解决上 述技术问题， 本实用新型提供了一种芯片生产用 的芯片清洗装置， 驱动电机通过平齿轮和齿环的 啮合带动转轴和导轮转动， 安装座带动安装架和 推动板在 进料清洗箱的内侧转动， 推动板推动芯 片在进料清洗箱的内侧转动清洗的过程中， 通过 推动板保持芯片在进料清洗箱的内壁底部浸洗， 保障芯片与清洗液的充分混合浸洗， 实现芯片的 清洁质量 提升。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217043728 U 2022.07.26 CN 217043728 U 1.一种芯片生产用的芯片清洗装置， 包括回收底座(1)， 其特征在于： 所述回收底座(1) 的顶端中部和右端分别固定连接有清洗液暂存箱(2)和过滤盒(3)， 所述回收底座(1)的顶 端固定连接有进 料清洗箱(4)， 所述进料清洗箱(4)的底端左侧和右侧分别卡接有排水滤板 (5)， 排水挡板(6)和排料挡 板(7)， 所述排水挡 板(6)的顶端抵触在排水滤板(5)的底端， 所 述进料清洗箱(4)的外侧 和内侧分别固定连接有清洁机构(8)和驱动机构(9)； 所述清洁机构(8)包括高压水泵(801)， 所述高压水泵(801)的外侧固定连接在进料清 洗箱(4)的外侧， 所述高压水泵(801)的输出端和输入端分别固定连接有供水管(802)和抽 水管(803)， 所述抽水管(803)的底端固定连接在清洗液暂存箱(2)的顶端， 所述供水管 (802)的顶端固定连接有顶置导管(804)， 所述顶置导管(804)的底端 固定连接有顶置喷头 (805)， 所述顶置导管(804)的外侧固定连接有连接管(806)， 所述连接管(806)的底端固定 连接有中置导管(807)， 所述中置导管(807)的右侧固定连接有中置喷头(808)， 所述顶置导 管(804)和中置导管(807)的外侧均固定连接在进料清洗箱(4)的外侧， 所述顶置喷头(805) 的底端和中置喷头(808)的右端均贯 穿在进料清洗箱(4)的外侧至内侧； 驱动机构(9)包括环形导轨(901)， 所述环形导轨(901)的外侧固定连接在进料清洗箱 (4)的内侧， 所述环形导轨(901)的内侧活动 连接有导轮(902)， 所述导轮(902)的中部固定 连接有转轴(903)， 所述转轴(903)的外侧固定连接有齿环(904)， 所述转轴(903)的外侧活 动连接有安装座(905)， 所述安装座(905)的外侧活动连接在环形导轨(901)的左端外侧， 所 述安装座(905)的右端内侧固定连接有驱动电机(906)， 所述驱动电机(906)的输出端 固定 连接有平齿轮(907)， 所述平齿轮(907)的右端啮合在齿环(904)的左端， 所述安装座(905) 的左端固定连接有安装架(908)， 所述安装架(908)的底端固定连接有推动板(909)， 所述推 动板(909)的顶端固定连接有过 水滤网(910)。 2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置， 其特征在于： 所述过滤盒 (3)的内壁中部固定连接有过 滤网， 所述过 滤盒(3)的顶端朝向排料挡板(7)的底端。 3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置， 其特征在于： 所述进料清洗 箱(4)的底端左侧和右侧分别开设有排水孔和排料孔， 所述进 料清洗箱(4)的顶端开设有进 料孔。 4.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置， 其特征在于： 所述顶置导管 (804)的外形为圆环形， 所述顶置导管(804)的外侧固定连接有隔温套。 5.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置， 其特征在于： 所述环形导轨 (901)的内侧开设有环形限位滑槽， 所述环形导轨(901)的外侧固定连接有加强筋。 6.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置， 其特征在于： 所述推动板 (909)的底端固定连接有防滑胶垫， 所述推动板(909)的底端抵触在进料清洗箱(4)的内壁 底部。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217043728 U 2一种芯片生产用的芯片清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片清洗领域， 具体为 一种芯片生产用的芯片清洗装置 。 背景技术 [0002]芯片在生产流程中， 需要进行芯片的外观清洁处理， 保持芯片的外观整洁和避免 引脚污染无法正常使用。 [0003]现有专利(公告号： CN206774506U)公开了一种芯片加工清洗装置。 发明人在实现 该方案的过程中发现现有技术中存在如下问题没有得到良好的解决： 1、 该装置在使用的过 程中， 通过第一清洗池、 第二清洗池、 第三清洗池和第四清洗池对芯片分别进行污垢检测、 浸洗液清洁、 雾化喷气口喷洗和加热排气， 通过第二浸洗池对芯片进 行浸洗操作时， 芯片在 传送带的带动下通过第二浸洗池， 与浸洗液的接触时间短且缺少芯片与浸洗液的混合操 作， 导致浸洗液对芯片清洁质量差； 2、 该装置在使用的过程中， 芯片在第二浸洗池中进 行浸 洗操作时， 浸洗液中的杂质无法及时有效滤除， 导 致芯片的清洁效率降低。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种芯片生产用的芯片清洗装置， 以解决上述背景技 术中提出 的清洁质量差和清洁效率降低问题。 为实现上述 目的， 本实用新型提供如下技术 方案： 一种芯片生产用的芯片清洗装置， 包括回收底座， 所述回收底座的顶端中部和右端分 别固定连接有清洗液暂存箱和过滤盒， 所述回收底座的顶端固定连接有进料清洗箱， 所述 进料清洗箱的底端左侧和右侧分别卡接有排水滤板， 排水挡板和 排料挡板， 所述排水挡板 的顶端抵触在排水滤板的底端， 所述进料清洗箱的外侧和内侧分别固定连接有清洁机构和 驱动机构。 [0005]所述清洁机构包括高压水泵， 所述高压水泵的外侧固定连接在进料清洗箱的外 侧， 所述高压水泵的输出端和输入端分别固定连接有供水管和抽水管， 所述抽水管 的底端 固定连接在清洗液暂存箱的顶端， 所述供水管 的顶端固定连接有顶置导管， 所述顶置导管 的底端固定连接有顶置喷头， 所述顶置导管 的外侧固定连接有连接管， 所述连接管 的底端 固定连接有中置导管， 所述中置导管 的右侧固定连接有中置喷头， 所述顶置导管和中置导 管的外侧均固定连接在进 料清洗箱的外侧， 所述顶置喷头的底端和中置喷头的右端均贯穿 在进料清洗箱的外侧至内侧。 [0006]驱动机构包括环形导轨， 所述环形导轨 的外侧固定连接在进料清洗箱的内侧， 所 述环形导轨的内侧活动连接有导轮， 所述导轮的中部固定连接有转轴， 所述转轴的外侧固 定连接有齿环， 所述转轴的外侧活动连接有安装座， 所述安装座的外侧活动连接在环形导 轨的左端外侧， 所述安装座的右端内侧固定连接有驱动电机， 所述驱动电机的输出端固定 连接有平齿轮， 所述平齿轮的右端啮合在齿环的左端， 所述安装座的左端固定连接有安装 架， 所述安装架的底端固定连接有推动板， 所述推动板的顶端固定连接有过 水滤网。 [0007]优选的， 所述过滤盒的内壁中部固定连接有过滤网， 所述过滤盒的顶端朝向排料说　明　书 1/4 页 3 CN 217043728 U 3