(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210730269.X (22)申请日 2022.06.24 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102206 北京市昌平区昌平路97号 新 元科技园B座5 03室 (72)发明人 马铁中　董跃永　于浩杰　李瑞青　 李心怡　周明辉　陈森　 (74)专利代理 机构 北京华沛德权律师事务所 11302 专利代理师 马苗苗 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆的校准方法及校准系统 (57)摘要 本申请提供了一种晶圆的校准方法及校准 系统， 该方法包括： 将晶圆放置于校准平台， 获取 所述晶圆的过度曝光图像； 获取所述校准平台的 校准基准， 根据所述校准基准和所述过度曝光图 像， 计算所述晶圆和所述校准基准的校准偏差； 根据所述校准偏差， 通过所述校准平台移动所述 晶圆， 直至所述校准偏差小于设定偏差值； 识别 所述晶圆的标识信息， 将所述晶圆登记为已校准 状态， 复位所述校准平台。 本申请的技术方案可 以在一定程度上可以提高晶圆校准的精确度和 稳定性。 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 CN 115112666 A 2022.09.27 CN 115112666 A 1.一种晶圆的校准方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 将晶圆放置 于校准平台， 获取 所述晶圆的过度曝光图像； 获取所述校准平台的校准基准， 根据所述校准基准和所述过度曝光图像， 计算所述晶 圆和所述校准基准的校准偏差； 根据所述校准偏差， 通过所述校准平台移动所述晶圆， 直至所述校准偏差小于设定偏 差值； 识别所述晶圆的标识信息， 将所述晶圆登记为已校准状态， 复位所述校准平台。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述将晶圆放置 于校准平台， 包括： 通过机器人将晶圆放到校准平台的托架角上， 开启所述校准平台上的真空吸盘， 降下 所述校准平台的针对所述晶圆的支托架。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 在开启所述校准平台上的真空吸盘后， 所 述方法还 包括： 获取所述真空吸盘的负压值， 如果所述负压值持续小于负压阈值， 则关闭所述真空吸 盘， 则通过 所述机器人重新 放置所述晶圆， 再重新 开启所述真空吸盘。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述获取 所述晶圆的过度曝光图像， 包括： 调整针对所述晶圆的光照， 使得所述晶圆处于过度曝光状态， 通过影像设备拍摄所述 晶圆的过度曝光图像。 5.根据权利要求4所述的方法， 其特征在于， 在获取所述晶圆的过度曝光图像之后， 所 述方法还 包括： 检测所述过度曝光图像的图像质量和图像拍摄位置， 如果所述图像质量过低或者所述 图像拍摄位置发生偏移， 则重新初始化所述影 像设备， 重新拍摄所述晶圆的过度曝光图像。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述校准基准和所述过度曝光图 像， 计算所述晶圆和所述校准基准的校准偏差， 包括： 根据所述校准基准和所述过度曝光图像， 计算所述晶圆和所述校准基准的至少一个轴 向偏移量； 根据所述校准基准和所述过度曝光图像， 计算所述晶圆和所述校准基准的至少一个周 向偏移量。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述校准偏差， 通过所述校准平 台移动所述晶圆， 直至所述校准偏差小于设定偏差值， 包括： 根据所述轴向偏移量或所述周向偏移量， 通过所述校准平台沿轴向或沿周向移动所述 晶圆， 直至所述校准偏差小于设定偏差值。 8.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述识别所述晶圆的标识信息， 将所述晶 圆登记为已校准状态， 包括: 控制所述校准平台将所述晶圆移动至OCR， 识别所述晶圆的标识信息， 在后台将所述晶 圆登记为已校准状态。 9.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述复位所述校准平台， 包括： 控制所述运动平台移动到晶圆取片角度， 关闭所述校准平台上的真空吸盘， 升高所述 校准平台的针对所述晶圆的支托架， 以托 起所述晶圆。 10.一种晶圆的校准系统， 其特 征在于， 所述系统包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115112666 A 2影像模块， 被用于将晶圆放置 于校准平台， 获取 所述晶圆的过度曝光图像； 数据分析模块， 被用于获取所述校准平台的校准基准， 根据所述校准基准和所述过度 曝光图像， 计算所述晶圆和所述校准基准的校准偏差； 移动平台模块， 被用于根据 所述校准偏差， 通过所述校准平台移动所述晶圆， 直至所述 校准偏差小于设定偏差值； OCR识别模块， 被用于识别所述晶圆的标识信息， 将所述晶圆登记为已校准状态， 复位 所述校准平台。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115112666 A 3