(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210784067.3 (22)申请日 2022.06.28 (71)申请人 西安奕斯伟材 料科技有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技 术有限公司 (72)发明人 李鸿儒　 (74)专利代理 机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 张博 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) H01L 21/66(2006.01) (54)发明名称 晶圆片盒检测方法及装置、 片盒清洗 机 (57)摘要 本发明提供了一种晶圆片盒检测方法及装 置、 片盒清洗机， 属于半导体技术领域。 晶圆片盒 检测装置， 包括： 设置在片盒清洗机的上载单元 的光线发射单元， 用于向所述上载单元所上载的 晶圆片盒的顶部发射检测光线； 设置在片盒清洗 机的上载单元的光线接收单元， 用于接收所述晶 圆片盒的顶部反射回的检测光线； 控制单元， 用 于根据所述反射回的检测光线判断所述晶圆片 盒的顶部 是否有蘑菇头结构， 若判断所述晶圆片 盒的顶部不存在蘑菇头结构， 则控制所述上载单 元的机械手臂停止动作。 本发明能够避免在清洗 腔室发生干涉， 宕机和硬件损坏。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 115184374 A 2022.10.14 CN 115184374 A 1.一种晶圆片盒检测装置， 其特 征在于， 包括： 设置在片 盒清洗机的上载单元的光线发射单元， 用于向所述上载单元所上载的晶圆片 盒的顶部发射检测光线； 设置在片 盒清洗机的上载单元的光线接收单元， 用于接收所述晶圆片 盒的顶部反射 回 的检测光线； 控制单元， 用于根据 所述反射 回的检测光线判断所述晶圆片 盒的顶部是否有蘑菇头结 构， 若判断所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结构， 则控制所述上载单元 的机械手臂停止 动作。 2.根据权利要求1所述的 晶圆片盒检测装置， 其特 征在于， 所述控制单元还用于检测所述上载单元的片 盒支撑点是否被压缩， 若所述上载单元的 片盒支撑点被压缩， 开启所述光线发射单元和所述光线接 收单元； 若所述上载单元 的片盒 支撑点未被压缩， 关闭所述 光线发射单 元和所述 光线接收单 元。 3.根据权利要求1所述的晶圆片 盒检测装置， 其特征在于， 所述控制单元还用于在判断 所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结构时， 进行报警。 4.根据权利要求1所述的 晶圆片盒检测装置， 其特 征在于， 所述检测光线为红外光。 5.一种片盒清洗机， 其特征在于， 包括如权利要求1 ‑4中任一项所述的晶圆片 盒检测装 置。 6.一种晶圆片 盒检测方法， 其特征在于， 应用于如权利要求1 ‑4中任一项所述的晶圆片 盒检测装置， 包括： 利用光线发射单 元向所述上 载单元所上载的晶圆片盒的顶部发射检测光线； 利用光线接收单 元接收所述晶圆片盒的顶部反射回的检测光线； 控制单元根据 所述反射 回的检测光线判断所述晶圆片 盒的顶部是否有蘑菇头结构， 若 判断所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结构， 则控制所述上 载单元的机械手臂停止动作。 7.根据权利要求6所述的 晶圆片盒检测方法， 其特 征在于， 还 包括： 所述控制单元检测所述上载单元的片 盒支撑点是否被压缩， 若所述上载单元的片 盒支 撑点被压缩， 开启所述光线发射单元和所述光线接 收单元； 若所述上载单元 的片盒支撑点 未被压缩， 关闭所述 光线发射单 元和所述 光线接收单 元。 8.根据权利要求6所述的 晶圆片盒检测方法， 其特 征在于， 还 包括： 所述控制单 元在判断所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结构时， 进行报警。 9.根据权利要求6所述的 晶圆片盒检测方法， 其特 征在于， 所述检测光线为红外光。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115184374 A 2晶圆片盒检测方 法及装置、 片盒清洗机 技术领域 [0001]本发明涉及半导体技术领域， 特别是指一种晶圆片盒检测方法及装置、 片盒清洗 机。 背景技术 [0002]在半导体硅晶圆领域， 片盒清洗机的应用非常的广泛。 作为承载硅片的载具， 载具 的洁净度、 湿度等影响硅片品质的参数及其重要。 由于较高的生产能力和较稳定的工艺能 力， 片盒清洗设备目前仍然活跃在3 0nm及以上的集成电路生产制造领域。 [0003]传统的片盒清洗设备， 由人工进行取放， 片盒清洗设备对于片盒种类 的兼容性极 高， 对有无蘑菇头装置的片盒都可进 行清洗。 但由于传统的片盒清洗 设备过于依赖人力， 无 法实现工厂自动化， 且清洗效率较低， 无法满足更大体量的产能， 随后引进了自动 片盒清洗 设备。 自动片盒清洗设备可实现工厂自动化， 具备自动上载， 下载片盒的功能， 同时也具备 人工投放片盒的能力。 在自动片盒清洗设备 的清洗腔室和干燥腔室内， 片盒支架依靠对片 盒顶部的蘑菇头， 以及片盒底部的底座进行支撑， 如图1所示； 自动片盒清洗设备在人工投 放片盒时， 容易出现操作人员失误， 投入无蘑菇头、 或无底座的片盒进入 上载单元。 如图1所 示， 当机械手臂将无蘑菇头的片盒传送至清洗腔室或干燥腔室时， 由于 没有蘑菇头的支撑， 机械手臂在下降的过程中， 片盒带有蘑菇头的一侧会随着机械手臂下降而下降。 当机械手 臂下降到一定位置时， 从腔室收回机械手臂的过程中， 因为片盒的干涉， 会造成机械手臂强 行拽拉的动作， 从而会导 致片盒损坏、 支撑架损坏、 机 械手臂损坏等诸多风险。 发明内容 [0004]本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆片盒检测方法及装置、 片盒清洗机， 能 够避免在清洗腔室发生干涉， 宕机和硬件损坏。 [0005]为解决上述 技术问题， 本发明的实施例提供技 术方案如下： [0006]一方面， 本发明实施例提供一种晶圆片盒检测装置， 包括： [0007]设置在片盒清洗机的上载单元的光线发射单元， 用于向所述上载单元所上载的晶 圆片盒的顶部发射检测光线； [0008]设置在片盒清洗机的上载单元的光线接收单元， 用于接收所述晶圆片盒的顶部反 射回的检测光线； [0009]控制单元， 用于根据所述反射回的检测光线判断所述晶圆片盒的顶部是否有蘑菇 头结构， 若判断所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结构， 则控制所述上载单元 的机械手臂 停止动作。 [0010]一些实施例中， 所述控制单元还用于检测所述上载单元的片盒支撑点是否被压 缩， 若所述上载单元的片盒支撑点被压缩， 开启所述光线发射单元和所述光线接收单元； 若 所述上载单元的片盒支撑点未被压缩， 关闭所述 光线发射单 元和所述 光线接收单 元。 [0011]一些实施例中， 所述控制单元还用于在判断所述晶圆片盒的顶部不存在蘑菇头结说　明　书 1/5 页 3 CN 115184374 A 3