(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210762373.7 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5层5 03-1室 (72)发明人 王林梓　苏永鹏　张立芳　刘浩南　 周尧　马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种预检装置及方法 (57)摘要 本发明提供了一种预检装置及方法， 该预检 装置用于对晶圆进行预检和校正， 晶圆包括基底 片以及芯粒， 预检装置包括： 工作台； 活动载台， 且用于承载晶圆； 第一相机组件， 用于对晶圆进 行拍摄以获取晶圆的第一检测图像； 第二相机组 件， 用于对晶圆进行拍摄以获取芯粒的第二检测 图像； 分光元件， 分光元件用于将第一检测图像 的传输光路导向至第一相机组件， 以及， 分光元 件用于将第二检测图像的传输光路导向至第二 相机组件。 通过本申请， 第一相机组件不仅能够 对晶圆进行预检， 以减少后续检测模块中的工作 量， 同时还能辅助第二相机组件对晶圆进行位置 校准， 以使第二相机组件的校准效果更好， 且校 准效率更高效。 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 CN 115144409 A 2022.10.04 CN 115144409 A 1.一种预检装置， 用于对晶圆进行预检和校正， 所述晶圆包括基底片以及阵列分布于 所述基底片上的芯粒， 其特 征在于， 所述预检装置包括： 工作台； 活动载台， 设于所述工作台上， 且用于承载 所述晶圆； 第一相机组件， 设于所述工作台上， 且用于对所述晶圆进行拍摄以获取所述晶圆的第 一检测图像， 所述第一检测图像用于展示所述晶圆上 各个所述芯粒的分布情况； 第二相机组件， 设于所述工作台上， 且用于对所述晶圆进行拍摄以获取所述芯粒的第 二检测图像， 所述第二检测图像用于展示所述芯粒的当前角度信息； 分光元件， 设于所述工作台上， 所述分光元件用于在所述第一相机组件拍摄时将所述 第一检测图像的传输光路导向至所述第一相 机组件， 以及， 所述分光元件用于在所述第二 相机组件拍摄时将所述第二检测图像的传输光路导向至所述第二相机组件； 其中， 所述活动载台能够根据 所述第一检测图像展示的芯粒分布情况来带动所述晶圆 移动， 以使 所述第二相机组件的视场范围内具有 可用于参考校准的所述芯粒， 以及， 所述活 动载台能够根据所述第二检测图像展示的芯粒当前角度信息来带动所述晶圆转动以校准 所述晶圆。 2.根据权利要求1所述的预检装置， 其特征在于， 所述第 一相机组件包括第 一相机以及 连接于所述第一相机的大视场镜头， 所述大视场镜头的视场范围能够覆盖所述晶圆的表 面， 所述大视场镜头获取所述第一检测图像并传输至所述第一相 机， 所述第二相 机组件包 括第二相机以及连接于所述第二相机的准直镜头， 所述准直镜头获取所述第二检测图像并 传输至所述第二相机 。 3.根据权利要求2所述的预检装置， 其特征在于， 所述分光元件具有背向设置的第 一端 面以及第二端面， 所述第一检测图像的传输光路依 次经过所述第一端面、 所述第二端面传 输至所述大视场镜头， 所述第二检测图像的传输光路经所述第一端面反射后传输至所述准 直镜头。 4.根据权利要求3所述的预检装置， 其特征在于， 所述分光元件倾斜安装于所述大视场 镜头与所述活动载台之间， 所述大视场镜头的光轴垂直于所述载台的承载面， 所述第一端 面朝向所述活动载台且相对所述活动载台的承载面倾斜， 所述第二端面平行于所述第一端 面， 所述准直镜头朝 向所述第一端面且所述准直镜头的光轴垂直于所述大视场镜头的光 轴。 5.根据权利要求4所述的预检装置， 其特征在于， 所述工作台上设有支架， 所述第一相 机组件通过第一连接件与所述支架远离所述工作台的一端连接， 所述第一连接件延伸至所 述活动载台上方以使 所述大视场镜头能够朝向所述第二端面， 所述第二相机组件通过第二 连接件与所述支架连接， 所述第二连接件安装于所述工作台与所述第一连接件之间， 所述 准直镜头朝向所述第一端面。 6.根据权利要求5所述的预检装置， 其特征在于， 所述第 二连接件延伸至所述活动载台 与所述第一相 机组件之间， 所述分光元件安装于所述第二连接件远离所述支架的一端， 所 述第二相机组件安装于所述分光元件与所述支 架之间。 7.根据权利要求6所述的预检装置， 其特征在于， 所述第 一连接件和所述第 二连接件均 通过活动连接件与所述支架活动连接， 所述活动连接件包括第一块体和第二块体， 所述第权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115144409 A 2一块体和所述第二块体上分别开设有嵌合槽， 所述第一块体和所述第二块体层叠设置， 以 使所述第一 块体的嵌合槽与所述第二 块体的嵌合槽相对以形成插接通道。 8.根据权利要求7所述的预检装置， 其特征在于， 所述第 二连接件包括第 一板体和第 二 板体， 所述第一板体的一端与所述活动连接件连接， 另一端与所述第二板体活动连接， 所述 第二相机组件横卧于所述第二板体的板面上以使所述 准直镜头朝向所述分光元件。 9.根据权利要求5所述的预检装置， 其特征在于， 所述工作台上垂直设置有螺杆和限位 件， 所述限位件与所述支架的外侧 壁贴合接触， 所述支架上开设有与所述螺杆适配的螺栓 孔， 所述支架通过所述螺栓孔套接于所述螺杆上， 通过驱动电机驱动所述螺杆转动， 在所述 限位件的限制下， 所述支 架能够沿所述螺杆的轴向进行移动。 10.一种预检方法， 其特征在于， 采用权利要求1至9任一项所述的预检装置， 包括如下 步骤： 将晶圆运 转至活动载台上； 控制第一相机对所述晶圆进行拍摄以获取到第 一检测图像， 并根据所述第 一检测图像 判断第二相机的视场范围内是否有可用于参 考校准的芯粒； 若否， 控制所述活动载台移动以使所述第 二相机的视场范围内具有可用于参考校准的 所述芯粒； 控制所述第 二相机对所述晶圆进行拍摄以获取第 二检测图像， 并根据 所述第二检测图 像判断可用于参 考校准的所述芯粒的角度信息与预设信息是否相符； 若否， 则控制所述活动载台带动所述晶圆转动以使所述芯粒的角度信 息与所述预设信 息相符。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115144409 A 3