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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210766100.X (22)申请日 2022.07.01 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 吴伟 刘畅 高杰  (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. G01B 5/08(2006.01) G01B 5/20(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)发明名称 一种测量单晶参数及外观的设备 (57)摘要 本发明公开了一种测量单晶参数及外观的 设备, 包括桌体, 所述桌体的顶部设置有限位框, 所述限位框的顶部两侧通过支撑块转动安装有 晶棒, 所述晶棒的一端皆设置有电机, 所述限位 框的内侧设置有导向柱, 所述导向柱的一侧设置 有滑轮, 所述滑轮的一侧设置有转动轮, 所述桌 体的底部四个边角处皆设置有支撑腿, 且支撑腿 的之间横向排布设置有 连接柱。 该一种测量单晶 参数及外观的设备, 在日常使用的过程中, 通过 使用带滑轮及转动轮的设备外加千分表量测来 料外观, 以及成品单晶直径及圆度, 有效的解决 了单晶滚磨前后检查外观等缺陷时, 需要翻动拿 取单晶造成动作浪费以及过程中造成单晶磕碰 的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 115164677 A 2022.10.11 CN 115164677 A 1.一种测量单晶参数及外观的设备, 包括桌体(8), 其特征在于: 所述桌体(8)的顶部设 置有限位框(1), 所述限位框(1)的顶部两侧通过支撑块转动安装有晶棒(6), 所述晶棒(6) 的一端皆设置有电机(3), 所述限位框(1)的内侧设置有导向柱(5), 所述导向柱(5)的一侧 设置有滑轮(4), 所述滑轮(4)的一侧设置有转动轮(2)。 2.根据权利要求1所述的一种测量单晶参数及外观 的设备, 其特征在于: 所述桌体(8) 的底部四个边角处皆设置有支撑腿(9), 且支撑腿(9)的之间横向排布设置有连接柱(10)。 3.根据权利要求2所述的一种测量单晶参数及外观的设备, 其特征在于: 所述支撑腿 (9)的底端皆设置有定位座(11), 所述定位座(11)的内侧皆开设有定位槽(12), 且定位槽 (12)的内侧设置有定位吸盘(13)。 4.根据权利要求1所述的一种测量单晶参数及外观的设备, 其特征在于: 所述限位框 (1)的两侧皆设置有侧板(15), 所述侧板(15)的两侧表面皆设置有锁座(16), 且锁座(16)对 应的限位框(1)表面设置有锁扣(14)。 5.根据权利要求1所述的一种测量单晶参数及外观的设备, 其特征在于: 所述限位框 (1)的一侧表 面设置有控制按钮(7), 且控制按钮(7)的输出端通过导线与电机(3)的输入端 电性连接 。 6.根据权利要求1所述的一种测量单晶参数及外观 的设备, 其特征在于: 所述滑轮(4) 和转动轮(2)沿着限位框(1)内侧双排分布, 且滑轮(4)和转动轮(2)之间相互依次交错排 布。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 115164677 A 2一种测量单晶参数及外观的设 备 技术领域 [0001]本发明涉及半导体测量 技术领域, 具体为 一种测量单晶参数及外观的设备 背景技术 [0002]硅的单晶体, 禁带宽度1.11eV, 具有基本完整的点阵结构的晶体。 是一种良好的半 导材料, 生产中纯度基本要求达到99.9999 %, 甚至达到99.9999999%以上, 用于制造半导 体器件、 太阳能电池、 芯片等, 用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成, 是人类能制取到的 最纯的物质, 在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素, 形成P型半导体, 掺入微量的第VA族元 素, 形成N型, N型和P型半导体结合在一 起, 就可做成太阳能电池, 将辐射能转变为电能。 [0003]现有的单晶滚磨前需搬动单晶放置在工作桌上检查外观(圆周及端面), 滚磨后需 要搬动单晶测量单晶直径, 圆度以及翻动单晶检查滚磨后单晶外观, 动作繁琐, 人员搬运翻 动测量过程中单晶磕碰风险大。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种金属制品的生产转运装置, 以解决上述背景技术中提 出的现有 单晶由库房传统使用托盘加泡沫盒加液压车推送至下道工序粘棒, 粘棒工序在一 堆泡沫盒中寻找需要生产的料件, 整个发料运输投料过程耗费大量人力搬运移动单 晶棒, 操作人员工作强度大, 工作效率低, 为改变现状, 故设计开发专用运输存放小车的问题。 [0005]为实现上述目的, 本 发明提供如下技术方案: 一种测量单晶参数及外观的设备, 包 括桌体, 所述桌体的顶部设置有限位框, 所述限位框的顶部两侧 通过支撑块转动安装有晶 棒, 所述晶棒的一端皆设置有电机, 所述限位框的内侧设置有导向柱, 所述导向柱的一侧设 置有滑轮, 所述滑轮的一侧设置有转动轮。 [0006]优选的, 所述桌体的底部四个边角处皆设置有支撑腿, 且支撑腿的之间横向排布 设置有连接柱。 [0007]优选的, 所述支撑腿的底端皆设置有定位座, 所述定位座的内侧皆开设有定位槽, 且定位槽的内侧设置有定位吸盘。 [0008]优选的, 所述限位框的两侧皆设置有侧板, 所述侧板的两侧表面皆设置有锁座, 且 锁座对应的限位框表面设置有锁扣。 [0009]优选的, 所述限位框 的一侧表面设置有控制按钮, 且控制按钮的输出端通过导线 与电机的输入端电性连接 。 [0010]优选的, 所述滑轮和转动轮沿着限位框内侧双排分布, 且滑轮和转动轮之间相互 依次交错 排布。 [0011]与现有技 术相比, 本发明的有益效果是: [0012]该一种测量单晶参数及外观的设备, 在日常使用的过程中, 通过使用带滑轮及转 动轮的设备外加千分表量测 来料外观, 以及成品单 晶直径及圆度, 有效的解决了单 晶滚磨 前后检查外观等缺陷时, 需要翻动拿取单晶造成动作浪费以及过程中造成单晶磕碰的问说 明 书 1/3 页 3 CN 115164677 A 3

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