(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221819128.7 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 嘉兴联康沃源科技股份有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴 市海宁市浙江海 宁经编产业园区沧海路176号 (72)发明人 刘烽　陆金发　郭云静　殷秋鹤　 (74)专利代理 机构 浙江永航联科专利代理有限 公司 33304 专利代理师 俞培锋 (51)Int.Cl. B26D 7/02(2006.01) B26D 7/06(2006.01) B26D 1/12(2006.01) (54)实用新型名称 一种框架切片机 (57)摘要 本实用新型提供了一种框架切片 机， 属于机 械技术领域。 本切片机， 包括底板， 底板上安装有 箱体， 箱体上具有过料通道， 底板上通过若干支 撑脚固定有环形轨道， 且环形轨道穿过过料通 道， 环形轨道上滑动连接有若干滑座， 且滑座呈 均匀分布， 滑座上水平安装有导杆一， 导杆一上 滑动连接有活动座一， 活动座一与滑 座之间还具 有支撑弹簧一， 活动座一上水平安装有导杆二， 且导杆二与导杆一相互垂直， 导杆二上滑动连接 有活动座二， 活动座二与活动座一之间还具有支 撑弹簧二， 活动座二上安装有圆形定位台， 圆形 定位台上开 设有用于定位晶圆周转板的定位槽， 箱体上部设有切割机构， 箱 体下部设有对中夹紧 机构， 对中夹紧机构包括 安装板和气缸一。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 217915585 U 2022.11.29 CN 217915585 U 1.一种框架切片机， 包括底板(1)， 其特征在于， 所述底板(1)上安装有箱体(10)， 箱体 (10)上具有过料通道， 底板(1)上通过若干支撑脚(2)固定有环形轨道(3)， 且环形轨道(3) 穿过过料通道， 环形轨道(3)上滑动连接有若干滑 座(4)， 且滑座(4)呈均匀分布， 滑 座(4)上 水平安装有导杆一(37)， 导杆一(37)上滑动连接有活动座一(39)， 活动座一(39)与滑座(4) 之间还具有支撑弹簧一(36)， 活动座一(39)上水平安装有导杆二(41)， 且导杆二(41)与导 杆一(37)相互垂直， 导杆二(41)上滑动连接有活动座二(40)， 活动座二(40)与活动座一 (39)之间还具有支撑弹簧二(38)， 活动座二(40)上安装有圆形定位台(5)， 圆形定位台(5) 上开设有用于定位晶圆周转板(6)的定位槽， 箱体(10)上部设有切割机构， 箱体(10)下部 设 有对中夹紧机构， 对中夹紧机构包括安装板( 25)和气缸一( 24)， 安装板( 25)固定在箱体 (10)下部， 安装板(25)一端水平固定有导轨一(13)， 导轨一(13)上滑动连接有滑块一(28)， 滑块一(28)和联动杆一(27)的中部相连， 联动杆一(27)的端部竖直固定有对中柱一(26)， 安装板(25)另一端水平固定有导轨二(22)， 导轨二(22)上滑动连接有滑块二(21)， 滑块二 (21)和联动杆二(20)的中部相连， 联动杆二(20)的端部竖直固定有对中柱二(19)， 安装板 (25)中部转动安装有带轮一(14)和带轮二(18)， 带轮一(14)与带轮二(18)之间套设有同步 带(16)， 联动杆一(27)的中部通过连接件一(15)和同步带(16)一侧相连， 联动 杆二(20)的 中部通过连接件二(17)和同步带(16)另一侧相连， 气缸一(24)安装在安装板(25)一端， 且 气缸一(24)的活塞 杆水平设置， 气缸一(24)的活塞杆端部通过传动件(23)和连接件一(15) 相连， 底板(1)上还具有能使滑座(4)移动的驱动结构。 2.根据权利要求1所述的框架切片机， 其特征在于， 所述圆形定位台(5)上还具有取放 口(5a)。 3.根据权利要求1所述的框架切片机， 其特征在于， 所述驱动结构包括驱动带(7)、 若干 导轮(8)和伺服电机一(9)， 导轮(8)转动安装在底板(1)上， 驱动带(7)套设在导轮(8)上， 滑 座(4)和驱动带(7)相连， 伺服电机一(9)安装在底板(1)上， 伺服电机一(9)的输出轴和其中 一个导轮(8)相连。 4.根据权利要求1所述的框架切片机， 其特征在于， 所述切割机构包括伺服电机二 (29)、 旋转杆(30)、 调整 块(31)、 锁紧螺杆(32)、 气缸二(33)和切割轮(35)， 伺服电机二(29) 安装在箱体(10)上部， 伺服电机二(29)的输出轴和旋转杆(30)一端相连， 调整块(31)滑动 连接在旋转杆(30)另一端， 且旋转杆(30)呈水平布置， 调整块(31)和气缸二(33)相连， 且气 缸二(33)的活塞杆竖直向下， 气缸二(33)的活塞杆端部和升降块(34)相连， 切割 轮(35)安 装在升降块(34)上， 锁紧螺杆(32)螺纹连接在调整块(31)上， 且锁紧螺杆(32)端部与旋转 杆(30)相抵靠。 5.根据权利 要求1所述的框架切片机， 其特征在于， 所述箱体(10)顶部和箱体(10)一侧 均具有辅助口， 箱体(10)上铰接有能将辅助口封闭住的盖 板(12)。 6.根据权利要求5所述的框架切片机， 其特 征在于， 所述盖 板(12)上 具有把手(1 1)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217915585 U 2一种框架切片机 技术领域 [0001]本实用新型属于 机械技术领域， 涉及一种切片机， 特别是一种框架切片机 。 背景技术 [0002]经过贴膜设备对晶圆周转板上的晶圆进行贴膜后， 晶圆周转板上多余的膜材需要 进行切割， 将膜材切割成与晶圆相同的圆形， 再进入下一步工序中对晶圆进行冲洗烘干等 操作， 因此， 设计出一种框架切片机是很有必要的。 发明内容 [0003]本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题， 提出了一种框架切片机， 该 切片机具有操作简单的特点。 [0004]本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现： 一种框架切片机， 包括底板， 其特 征在于， 所述底板上安装有箱体， 箱体上具有过料通道， 底板上通过若干支撑脚固定有环形 轨道， 且环形轨道穿过过料通道， 环形轨道上滑动连接有若干滑座， 且滑座呈均匀分布， 滑 座上水平安装有导杆一， 导杆一上滑动连接有活动座一， 活动座一与滑座之间还具有支撑 弹簧一， 活动座一上水平安装有导杆二， 且导杆二与导杆一相互垂直， 导杆二上滑动连接有 活动座二， 活动座二与活动座一之 间还具有支撑弹簧二， 活动座二上安装有圆形定位台， 圆 形定位台上开设有用于定位晶圆周转板的定位槽， 箱体上部设有切割机构， 箱体下部设有 对中夹紧机构， 对中夹紧机构包括安装板和气缸一， 安装板固定在箱体下部， 安装板一端 水 平固定有导轨一， 导轨一上滑动连接有滑块一， 滑块一和联动杆一的中部相连， 联动杆一的 端部竖直固定有对中柱一， 安装板另一端 水平固定有导轨二， 导轨二上滑动连接有滑块二， 滑块二和联动杆二的中部相连， 联动杆二的端部竖直固定有对中柱二， 安装板中部转动安 装有带轮一和带轮二， 带轮一与带轮二之间套设有同步带， 联动杆一的中部通过连接件一 和同步带一侧相连， 联动杆二的中部通过连接件二和同步带另一侧相连， 气缸一安装在安 装板一端， 且气缸一的活塞杆水平设置， 气缸一的活塞杆端部通过传动件和连接件一相连， 底板上还具有能使滑座移动的驱动结构。 [0005]本实用新型的工作原理如下： 人工将晶圆周转板放置在圆形定位台上的定位槽 内， 滑座带动晶圆周转板在环形轨道上移动至箱体内， 对中夹紧机构将圆形定位台对中并 夹紧固定位置后， 切割机构对晶圆周转板上多余的膜材进行切割， 切割完成后滑座带动晶 圆周转板从箱体上的过 料通道内传出， 人工取 下晶圆周转板， 操作简单。 [0006]气缸一通过传动件带动连接件一移动， 连接件一带动同步带在带轮一和带轮二之 间传动， 同步带带动连接件二与连接件一往相反方向移动； 进 行对中夹紧工作时， 连接件一 和连接件二分别带动联动杆一和联动杆二相向移动， 对中柱一和对中柱二同时向中间靠 近， 将圆形定位台对中夹紧， 在支撑弹簧一和支撑弹簧二作用下， 活动座一和活动座二能分 别在导杆一和 导杆二上滑动， 使圆形定位台能小 幅度移动， 使晶圆周转板上 的晶圆能准确 对准切割机构， 避免环形轨道带动滑座移动至切割位置时产生的位置误差 。说　明　书 1/4 页 3 CN 217915585 U 3