ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T 38446—2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-10-01实施 2020-03-06发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T38446—2020 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4试验方法 5数据处理 附录A（资料性附录）采用MEMS工艺的样品制备 附录B（资料性附录）对准偏差和几何结构对性能测试的影响 附录C（资料性附录）纳米压痕仪的测试结果误差及补偿 参考文献 10 GB/T38446—2020 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口 本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技 有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。 GB/T38446—2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 1范围 本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。 本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS 产品带状薄膜结构的质量监控。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 3 术语和定义 GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 弹性模量 量modulus of elasticity E 材料在弹性变形阶段时，应力与应变的比值。 注：改写GB/T3102.3—1993,定义3.18.1。 3.2 屈服强度 yield strength Re 当材料呈现屈服现象时，在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点。 注1：改写GB/T228.1—2010，定义3.10.2。 注2：对于屈服现象明显的材料，屈服强度就是材料发生届服现象时届服极限的应力；对于屈服现象不明显的材料， 屈服强度为应变达到残余应变0.2%时的应力。 3.3 抗拉强度 Etensile strength Rm 材料拉断过程中对应的最大应力。 注：改写GB/T228.1—2010，定义3.10.1。 3.4 挠度 deflection m 样品结构轴线在垂直于轴线方向的线位移或中面在垂直于中面方向的线位移。 1 GB/T38446—2020 3.5 偏转角 deflection angle β 弯曲的样品和连接样品两固定端直线间的夹角。 注：本标准所指样品均为带状弯曲样品。 4试验方法 4.1 1试验环境 温度：15℃~35℃； 相对湿度：20%~80%； 大气压力：86kPa~106kPa。 4.2 样品要求 4.2.1 样品的加工和尺寸 样品应使用和实际器件相同的加工工艺。 附录A描述了一种基于MEMS工艺的样品加工方法 样品形状和符号定义分别如图1和表1所示。设计样品时，应最小化弯矩的影响，样品的长度宜大 于厚度的300倍；宽度宜大于厚度的10倍；长度宜大于宽度的10倍。样品应保证平直。 21. 薄膜 图1薄膜样品 表1 样品符号和定义 符号 单位 定义 2L μm 样品长度 B 样品宽度 μm h μm 样品厚度 4.2.2 样品的尺寸测量 长度（2L）、宽度（B）和厚度（h）的测量误差应在土5%之内。 2