ICS 71.040. 99 N 53 中华人民共和国国家标准 GB/T 18873—2008 代替GB/T18873—2002 生物薄试样的透射电子显微镜-X射线 能谱定量分析通则 General guide of transmission electron microscope (TEM)-X-ray energy dispersive spectrometry(EDS)quantitative microanalysis for thin biological specimens 2008-06-16发布 2009-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 18873—2008 目 次 前言 1 范围 2 术语和定义 3 基本原理 仪器和设备 生物薄标样的选择 6 生物薄试样 准备工作 8 选择仪器测量条件 9测量分析步骤 10 误差· 分析结果的发布…··· 11 附录A（资料性附录） 生物组织G因子计算法 参考文献· GB/T18873—2008 前言 本标准代替GB/T18873一200Z《生物薄试样的透射电子显微镜-X射线能谱定量分析通则》。 本标准与GB/T18873—2002相比主要变化如下： 生物薄试样的厚度范围定在50nm～300nm（2002年版的2.1、2.2；本版的2.1.2.2）； 对生物薄试样的常见元素测试时，推荐的加速电压值定为35kV～80kV（2002年版的7.1.2、 8.1本版的7.1.2、8.1)； 机械推进式超薄切片机改成超薄切片机（2002年版的4、5.2；本版的4、5.2）； 不推荐使用金网（2002年版的5.3、6.2；本版的5.3、6.2）； 一建议在电镜冷阱中加人液氮或使用冷冻样品台（2002年版的7.1.6；本版的7.1.6）。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：中国人民解放军第二军医大学、复旦大学上海医学院、上海市计量测试技术研究 院、中国人民解放军军事医学科学院。 本标准主要起草人：杨勇骥、俞彰、张训彪、张德添。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T18873—2002。 I GB/T18873—2008 生物薄试样的透射电子显微镜-X射线 能谱定量分析通则 1范围 本标准规定了透射电子显微镜-X射线能谱仪定量分析生物薄试样的技术要求和规范。 本标准适用于生物薄试样所含非超轻元素的透射电子显微镜X射线能谱定量分析。 2术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 2. 1 生物薄试样 羊biologicalthinspecimen 指采用超薄切片机切成的、厚度为50nm～300nm的生物试样 2.2 生物薄标样 biological thin standard specimen 指采用超薄切片机切成的、厚度为50nm~300nm的生物标准样品 2. 3 G因子（或平均加重权）Gfactor(oraverageaggravatingweight) 生物试样和生物标样的化学组成成分的元素因子。G因子可用式（1）计算得到： ZCZi/A G= ..(1) 式中： C——薄试样或薄标样化学组成中元素i所占的质量百分比； Z——元素i的原子序数； A,元素i的原子量。 3基本原理 用聚焦的高能电子束照射生物薄试样的微小区域，该区域中所含元素的原子受到高能电子束的激 发产生特征X射线，其特征X射线能量对应于相关的元素；特征X射线的积分强度对应于元素的浓度。 采用能谱仪将接收到的样品特征X射线峰强度与背景强度（即连续X射线强度）之差与在相同条件下 电子束照射生物薄标样获得的特征X射线峰强度与背景强度之差进行比较，确定被测生物薄试样激发 区域内各元素的含量。 4仪器和设备 透射电子显微镜； 一X射线能谱仪； 一超薄切片机。 5生物薄标样的选择 5.1生物薄标样的化学成分要尽可能地与被分析生物薄试样相似，且有化学成分定值。 5.2生物薄标样的厚度与被分析生物薄试样的厚度应相近，建议采用超薄切片机切成的厚度小于 1 GB/T18873—2008 300nm的生物薄标样。 5.3生物薄标样所用的载网应是直径3mm的电镜用标准载网，推荐使用碳载网或尼龙载网。 5.4用于制备生物薄标样的基质材料，其G因子应接近于生物软组织的G因子为3.28。 5.5标样应具有较高的抗电子辐射及抗污染的能力。 6生物薄试样 6.1生物薄试样的厚度应小于300nm，建议采用超薄切片机切成的生物薄试样。 6.2生物薄试样所用的载网应是直径3mm的电镜用标准载网，推荐使用碳载网或尼龙载网。 7准备工作 7.1电子显微镜系统 之间。 7. 1. 3 调节电子枪的灯丝电流，使束流处于稳定饱和状态、 7.1.4对电子光学系统进行对中调整，使电子显微镜处于最佳工作状态。 7.1.5在定量分析过程中，不能再对电子光学系统进行对中调整。 7.1.6建议在电镜冷阱中加人液氮或使用冷冻样品台，以减少样品污染。 7.2能谱分析系统 7.2.1开机，一般预热30min左右。 7.2.2在不加电镜加速电压的条件下，检测X射线能谱仪的背景计数率，背景计数率应小于60cps。 7.2.3X射线能谱仪的能量漂移范围在工作时间内应小于10eV。如峰位漂移较大，可调节能谱仪中 的零位调节系统，使峰位漂移小于10eV。 7.2.4校检脉冲处理器的状态，调节增益，并使噪音信号尽可能减小。 7.2.5定量分析前，必须校检能谱仪的分辨本领。用Mn等标样检查Be窗探测器；用含F标样检查超 薄窗探测器低能端的分辨本领 7.2.6检查所得结果，手动或自动输人到计算机中，以备定量分析时调用 注：如仪器有自动校正程序，则不需执行7.2.3和7.2.4。 8选择仪器测量条件 8.1选择加速电压 因大多数生物试样在高加速电压下极易受损，如使用透射电镜对生物试样中常含的原子序数小于 32的元素（如Na、Mg、P、S、Cl、K、Ca等）进行测试时，推荐的加速电压值为35kV～80kV。 8.2选择电子束束流 在确定的加速电压下，选择电子束束流使X射线的计数率在800cps～3000cps。 8.3选择电子束束斑直径 8.3.1保证电子束束斑产生的激发区尺寸不超过待分析区的尺寸，且被分析元素的特征X线的强度 足够高（能达到预期的分析精度）。 8.3.2推荐采用的电子束束斑直径：对生物薄试样检测分析可采用正聚焦，束斑直径小于0.5um。如 欲测量较大区域的元素成分，可采用相应的散焦束斑。如欲测量较小区域的元素成分，也可采用直径更 小的电子束束斑。 8.4选择被分析元素的X线系 8.4.1被分析元素的原子序数Z≤32时，采用K线系 2