ICS 31.200 CCS L 55 团 体 标 准 T/CSTM 00537—2021 微纳薄膜相变温度测试 光功率分析 法 Phase transition temperature measurement of micro -nano thin film -Optical power analysis 2021-05-11发布 2021-08-11 实施 中关村材料试验技术联盟 发布 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00537— 2021 I 目 录 前 言 ................................ ................................ ..........II 引 言 ................................ ................................ ......... III 1 范围 ................................ ................................ ............. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ...1 3 术语和定义 ................................ ................................ .......1 4 原理 ................................ ................................ ............. 2 5 仪器和试剂 ................................ ................................ .......2 6 样品处理 ................................ ................................ .........3 7 仪器校准 ................................ ................................ .........4 8 测试过程 ................................ ................................ .........4 9 数据处理 ................................ ................................ .........4 10 不确定度评定 ................................ ................................ ....4 11 测试报告 ................................ ................................ ........6 附录A（资料性） 碲化锗薄膜相变温度测试实例 ................................ ..........7 附录B（资料性） 起草单位和主要起草人 ................................ ................ 9 参考文献 ................................ ................................ ..........10 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00537— 2021 II 前 言 本文件参照 GB/T 1.1 －2020 《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的 规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 中国材料与试验团体 标准委员会基础与共性技术领域委员会（ CSTM/FC00 ）提出。 本文件由 中国材料与试验团体 标准委员会基础与共性技术领域委员会（ CSTM/FC00 ）归口。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00537— 2021 III 引 言 相变薄膜材料因其独特的光学、电学、热学和磁学等特性，在绿色能源、电子传感、信息存储等领 域得到广泛的应用 ,在半导体存储产业具有较大的技术优势和推广潜力。相变温度是薄膜材料预测组织 结构和发挥材料性能的关键参数，是器件设计及可靠运行的重要指标，因此其准确测量尤为关键。相比 于块体材料，薄膜材料受尺度、基底材料、制备技术等因素影响，其相变温度的准确测量难 度较大。光 功率分析法是基于薄膜材料相变前后光学性质发生突变的原理建立的一种相变温度测试方法， 具有快速 响应和原位测试的特点。 本文件规定了薄膜材料相变温度的测试方法，对相变薄膜的研究与应用至关重要，满足众多相变薄 膜生产与应用的迫切需求 。 本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到“5 仪器和试剂”中“ 5.1 光功率分 析仪”与发明专利 CN200910273102. X [一种相变温度测试系统 ]相关的专利的使用。 本文件的发布机构对于该专利的真实性、有效性和范围无任何立场。 该专利持有人已向本文件的发布 机构承诺，他愿意同任何申请人在合理且无歧视的条款和条件下， 就专利授权许可进行谈判。该专利持有人的声明已在本文件的发布机构报备。相关信息可以通过以下联 系方式获得： 专利持有人：武汉嘉仪通科技有限公司 专利发明人：缪向水，童浩，程晓敏 地址：湖北省武汉市洪山区珞喻路 1037号 请注意除上述专利外，本文件的某些内容仍可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责 任。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00537— 2021 1 微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法 1 范围 本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、 仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试 报告等。 本文件适用于厚度为 5 nm~100 μ m的薄膜材料相变温度的测试，薄膜 材料应相变前后光反射率不同 且在测试温区内 受热不分解、不挥发 。厚度大于 100 μm的材料可参照执行。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 6425-2008 热分析术语 GB/T 19466.3-2004 塑料 差示扫描量热法（ DSC）第 3部分：熔融和结晶温度及热焓的测定 GB/T 14733.12-2008 电信术语 光纤通信 3 术语和定义 GB/T 6425-2008 ，GB/T 19466.3 -2004和GB/T 14733.12 -2008中界定的 以及下列术语和定义适用 于本 文件。 3.1 相变温度 phase transition temperature 薄膜从一个相向另一个相转变的温度。 [来源： GB/T 6425 -2008，3.5.8.1，有修改] 3.1.1 相变起始温度 Tonset phase transition onset temperature 外推基线与对应于薄膜相变开始的曲线最大斜率处所作切线的交点所对应的温度。 [来源： GB/T 19466.3 -2004，3.5，有修改] 3.1.2 相变峰值温度 Tp phase transition peak temperature 薄膜相变过程中曲线斜率的峰值所对应的温度。 [来源： GB/T 19466.3 -2004，3.5，有修改] 3.1.3 相变终止温度 Tend phase transition end temperature 外推基线与对应于薄膜相变结束的曲线最大斜率处所作切线的交点所对应的温度。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00537— 2021 2 [来源： GB/T 19466.3 -2004，3.5，有修改] 3.2 光功率 optical power 单位时间的辐射能量流。 [来源： GB/T 14733.12 -2008，731-01-22] 3.3 光功率分析法 optical power analysis （OPA） 通