(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222520588.6 (22)申请日 2022.09.23 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店区海 湾 工业区振兴街16号 (72)发明人 马跃　祁长厚　刘国东　张厚根　 (51)Int.Cl. F16F 15/00(2006.01) F16F 15/023(2006.01) F16F 15/03(2006.01) F16F 15/067(2006.01) F16M 11/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基 座 (57)摘要 本实用新型提供一种基于气浮可变刚度的 主被动防微振基座， 包括顶板、 被动隔振装置和 音圈电机， 所述顶板底部四个角连接被动隔振装 置， 所述被动隔振装置包括第一气室和第二气 室， 所述第一气室和第二气室之间连接有活塞A， 所述第二气室上部连接有活塞B， 所述活塞B与第 一气室之间连接有气膜， 所述活塞B连接有推杆， 所述第一气室顶部安装有封盖板， 所述推杆穿过 封盖板， 所述推杆顶部连接支撑板， 所述支撑板 与封盖板之间、 推杆外侧套装有金属弹簧， 所述 第二气室外侧连接有附加气室， 所述第二气室外 侧垂直连接有侧板， 所述侧板顶部与顶板之间连 接有音圈电机。 本实用新型定位精确， 系统隔振 带宽， 稳定性高。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 218094024 U 2022.12.20 CN 218094024 U 1.一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 包括顶板、 被动隔振装置和音圈电机， 其特征在于， 所述顶板底部四个角连接被动隔振装置， 所述被动隔振装置包括第一气室和 第二气室， 所述第一气室和第二气室之 间连接有活塞A， 所述第二气室上部连接有活塞B， 所 述活塞B与第一气室之间连接有气膜， 所述活塞B连接有推杆， 所述第一气室顶部安装有封 盖板， 所述推杆穿过封盖板， 所述推杆顶部连接支撑板， 所述支撑板与封盖板之间、 推杆外 侧套装有金属弹簧， 所述第二气室外侧连接有附加气室， 所述第二气室外侧垂直连接有侧 板， 所述侧板顶部与顶板 之间连接有音圈电机， 所述顶板底部还安装有位置传感器、 速度传 感器和控制器。 2.根据权利要求1所述的一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 其特征在于， 所 述顶板由不锈钢板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 其特征在于， 所 述推杆与封 盖板滑动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 其特征在于， 所 述支撑板顶部与顶板连接 。 5.根据权利要求1所述的一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 其特征在于， 所 述侧板与第二气室之间连接有斜梁。 6.根据权利要求1所述的一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 其特征在于， 所 述控制器通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 音圈电机连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218094024 U 2一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座 技术领域 [0001]本实用新型涉及隔振装置技术领域， 具体是一种基于气浮可变刚度的主被动防微 振基座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振。 但是精密仪器所处环境不是单一的高频振动 或低频振动， 是多种 频率的复杂 的振动环境， 而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动， 难以应对复杂多变的工作环 境， 隔振效果较差， 定位 不够精确。 [0004]另外被动 隔振一般适应于较简单的工作环境， 被动材料的刚度一般是不可变 的， 不能根据精密仪器的隔振要求调整刚度。 实用新型内容 [0005]实用新型的目的在于提供一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 以解决上 述背景技 术中存在的问题。 [0006]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0007]一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座， 包括顶板、 被动 隔振装置和音圈电 机， 所述顶板底部四个角连接被动隔振装置， 所述被动隔振装置包括第一气室和 第二气室， 所述第一气室和 第二气室之 间连接有活塞A， 所述第二气室上部连接有活塞B， 所述活塞B与 第一气室之间连接有气膜， 所述活塞B连接有推杆， 所述第一气室顶部安装有封盖板， 所述 推杆穿过封盖板， 所述推杆顶部连接支撑板， 所述支撑板与封盖板 之间、 推杆外侧套装有 金 属弹簧， 所述第二气室外侧连接有附加气室， 所述第二气室外侧垂直连接有侧板， 所述侧板 顶部与顶板之间连接有音圈电机， 所述顶板底部还安装有位置传感器、 速度传感器和控制 器。 [0008]进一步地， 所述顶板由不锈钢板制成矩形 结构。 [0009]进一步地， 所述推杆与封 盖板滑动连接 。 [0010]进一步地， 所述支撑 板顶部与顶板连接 。 [0011]进一步地， 所述侧板与第二气室之间连接有斜梁。 [0012]进一步地， 所述控制器通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 音圈电机连接 。说　明　书 1/3 页 3 CN 218094024 U 3