(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222520589.0 (22)申请日 2022.09.23 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店区海 湾 工业区振兴街16号 (72)发明人 马跃　孙乐　胡振军　刘国东　 (51)Int.Cl. F16F 15/00(2006.01) F16F 15/067(2006.01) F16F 15/03(2006.01) F16M 11/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于Stewart结构的大负载主被动防微 振平台 (57)摘要 本实用新型提供了一种基于Stewart结构的 大负载主被动防微振平台， 包括顶板、 减振腿和 底座， 所述减振腿为六条相互垂直、 相互相连， 所 述减振腿与顶板底部通过铰链连接， 所述减振腿 底部与安装座通过铰链连接， 所述安装座固定在 底座顶部， 所述顶板底部中间安装有球形铰链， 所述球形铰链底部连接有压电驱动器， 所述压电 驱动器底部安装在底座顶部中间， 所述顶板底部 安装有位置传感器和速度传感器， 所述底座顶部 安装有控制器。 本实用新型整体结构紧凑， 占地 空间小， 承载能力强， 固有频率可降到0.5Hz， 通 过金属弹簧与音圈电机组合的减振腿扩大了系 统的隔振带， 可现实0.5~500Hz的隔振要求。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 218094025 U 2022.12.20 CN 218094025 U 1.一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 包括顶板、 减振腿和底座， 其特 征在于， 所述减振腿为六条相互垂直、 相互相连， 所述减振腿与顶板底部通过铰链连接， 所 述减振腿底部与安装座通过铰链连接， 所述安装座固定在底座顶部， 所述顶板底部中间安 装有球形铰链， 所述球形铰链底部连接有压电驱动器， 所述压电驱动器底部安装在底座顶 部中间， 所述减振腿包括外壳、 推杆和支撑杆， 所述外壳焊接在支撑腿内侧 壁上， 所述外壳 顶部开设有通孔， 所述推杆插入通孔， 所述推杆顶部与顶板底部连接， 所述推杆底部连接有 支撑板， 所述推杆的外侧套装有金属弹簧， 所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固 定， 所述金属弹簧的底部与支撑板的顶部连接固定， 所述支撑板底部与外壳底部内侧之间 安装有音圈电机， 所述外壳底部中间连接有支撑杆， 所述顶板底部安装有位置传感器和速 度传感器， 所述底座顶部安装有控制器。 2.根据权利 要求1所述的一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 其特征在 于， 所述顶板、 底座均由不锈钢板制成同等 直径的圆形 结构。 3.根据权利 要求1所述的一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 其特征在 于， 所述支撑杆底部与安装座 通过铰链连接 。 4.根据权利 要求1所述的一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 其特征在 于， 所述控制器通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 压电驱动器和音圈电机连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218094025 U 2一种基于Stewa rt结构的大负载主被动防微振平台 技术领域 [0001]本实用新型涉及隔振装置技术领域， 具体是一种基于Stewart结构的大负载主被 动防微振平台。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]Stewart平台是1965年由美国学者提出的， 经过多年发展Stewart平台在工程领域 有着广泛的应用。 现有Stewart平 台应承重能力不够， 无法满足重型精密仪器的承重要求。 且现有Stewart平 台的工作空间有限， 隔振带宽较窄， 无法满足复杂的工作环境， 极大地限 制了Stewar t平台的用途。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 以 解决上述背景技 术中存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台， 包括顶板、 减振腿和底座， 所 述减振腿为六条相互垂 直、 相互相连， 所述减振腿与 顶板底部通过铰链连接， 所述减振腿底 部与安装座通过铰链连接， 所述安装座固定在底座顶部， 所述顶板底部中间安装有球形铰 链， 所述球形铰链底部连接有压电驱动器， 所述压电驱动器底部安装在底座顶部中间， 所述 减振腿包括外壳、 推杆和支撑杆， 所述外壳焊接在支撑腿内侧壁上， 所述外壳顶部开设有通 孔， 所述推杆插入通孔， 所述推杆顶部与顶板底部连接， 所述推杆底部连接有支撑板， 所述 推杆的外侧套装有金属弹簧， 所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固定， 所述金属 弹簧的底部与 支撑板的顶部连接固定， 所述支撑板底部与外壳底部内侧之 间安装有音圈电 机， 所述外壳底部中间连接有支撑杆， 所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器， 所述 底座顶部安装有控制器。 [0007]进一步地， 所述顶板、 底座均由不锈钢板制成同等 直径的圆形 结构。 [0008]进一步地， 所述支撑杆底部与安装座 通过铰链连接 。 [0009]进一步地， 所述控制器通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 压电驱动器和音圈电 机连接。 [0010]本实用新型的有益效果 为： [0011]本实用新型基于St ewart结构采用6个相互垂直、 相互相连的减振腿能够实现六自 由度的隔振， 并在顶板和底座之间设置球形铰链和压电驱动器， 在保证系统六自由度隔振 的同时， 提高的系统的承载能力， 可以满足3000kg以上精密仪器的承重要求。 本实用新型整 体结构紧凑， 占地空间小， 承载能力强， 固有频率可降到0.5Hz， 通过金属弹簧与音圈电机组说　明　书 1/2 页 3 CN 218094025 U 3