(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221672168.3 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 江苏第三代半导体 研究院有限公 司 地址 215101 江苏省苏州市工业园区金鸡 湖大道99号苏州纳米城中北区23幢 214室 (72)发明人 胡雨　戴冬云　 (74)专利代理 机构 苏州市中南伟业知识产权代 理事务所(普通 合伙) 32257 专利代理师 殷海霞　唐灵 (51)Int.Cl. B65D 25/38(2006.01) B65D 25/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种外延 片存储盒 (57)摘要 本实用新型涉及一种外延片存储盒， 包括： 盒体， 所述盒体内设置有存储外延片 的空腔； 存 取运输带， 设置在所述盒体内， 所述存取运输带 的延伸方向与所述外延片在盒体内的堆叠方向 相同， 所述存取运输带设置在外延片 的侧面， 所 述存取运输带上设置有多片突出的挡板， 多片所 述挡板等间距设置， 任意相邻两片挡板之间 能够 存放一片外延片； 运输带驱动源， 带动所述存取 运输带正反转动， 实现外延片在盒体内的存取动 作。 本实用新型改变存储盒的存储结构， 使外延 片能够堆叠放置在存储盒中， 从而能够改变外延 片在存储盒中的取放方式， 避免了外延片的污染 和损伤， 并且， 通过存取运输带带动堆叠的外延 片在存储盒内移动， 方便 外延片的存入和取出。 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 CN 217554611 U 2022.10.11 CN 217554611 U 1.一种外延 片存储盒， 其特 征在于： 包括： 盒体， 所述盒体内设置有存 储外延片的空腔； 存取运输带， 设置在所述盒体内， 所述存取运输带的延伸方向与所述外延片在盒体内 的堆叠方向相同， 所述存取运输带设置在外延片的侧 面， 所述存取运输带上设置有多片突 出的挡板， 任意相邻两片挡板之间仅能存放 一片外延 片； 运输带驱动源， 带动所述存取运输带正反转动， 实现外延 片在盒体内的存取动作。 2.根据权利要求1所述的外延片存储盒， 其特征在于： 在所述盒体 内设置有多个存取运 输带， 多个所述存取运输带周向均匀分布在外延片的侧 面， 通过多个所述存取运输带共同 分隔和带动外延 片。 3.根据权利要求2所述的外延片存储盒， 其特征在于： 多个所述存取运输带之间通过齿 轮啮合连接， 多个所述存取运输带由同一 运输带驱动源带动同步 转动。 4.根据权利要求1所述的外延片存储盒， 其特征在于： 所述存取运输带由硅胶材质制 成。 5.根据权利要求1所述的外延片存储盒， 其特征在于： 所述运输带驱动源的输出端通过 涡轮和蜗杆的转接方式与存取运输带的带轮连接 。 6.根据权利要求1所述的外延 片存储盒， 其特 征在于： 所述盒体包括： 底座， 所述存取运输带和运输带驱动源均设置在所述底座上； 存储盒罩， 罩设在所述底座上， 所述存 储盒罩上设置有供外延 片通过的进出口； 存储盒盖， 扣合设置在所述进出口上。 7.根据权利要求1所述的外延片存储盒， 其特征在于： 在所述盒体 内还设置有用于检测 外延片的传感器组， 所述传感器组包括： 第一传感器， 设置在所述盒体的最外侧， 用于检测存取运输带最外侧的两片挡板之间 是否存放有外延 片； 第二传感器， 靠近所述第一传感器设置， 所述第二传感器与第一传感器之间的间距为 外延片的堆叠间距， 所述第二传感器控制存取运输带每一次步进运输的距离； 第三传感器， 设置在所述盒体的最内侧， 用于检测存取运输带最内侧的两片挡板之间 是否存放有外延 片。 8.根据权利要求7所述的外延片存储盒， 其特征在于： 所述外延片在存取运输带带动 下， 从内向外或从外向内依次运输， 在 存放外延片时， 当所述第一传感器和第三传感器均检 测到外延片， 表示已经存满， 在取出外延片时， 当所述第一传感器和第三传感器均检测部到 外延片， 表示已经全部取 出。 9.根据权利要求1所述的外延片存储盒， 其特征在于： 在所述盒体外部还设置有交互系 统， 所述交 互系统包括显示模块和控制模块。 10.根据权利要求1所述的外延 片存储盒， 其特 征在于： 还 包括为充电底座。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217554611 U 2一种外延片存 储盒 技术领域 [0001]本实用新型 涉及外延 片存储技术领域， 尤其是指一种外延 片存储盒。 背景技术 [0002]外延片是贵重且易损坏的电子半成品， 并且， 在使用外延片时， 需要其具备极高的 洁净度， 因此在制备外延片后， 就需要使用存储盒对外延片进 行密封包装， 保证外延片不受 污染， 同时也方便 外延片的运输 。 [0003]现有技术中， 在腔室中形成外延片之后， 使用机械手将形成的外延片从腔室中取 出， 然后通过夹取的方式将 外延片放置在 存储盒中， 在需要使用外延片时， 也是通过夹取的 方式将存储盒 中的外延片取出进 行检测或者转移到仓库， 由于现有的存储盒均为插入式存 储盒， 例如： 专利号为CN204624241  U的中国专利公开了一种晶圆片储存盒， 包括 盒体、 上盖 和底盖， 盒体与上盖和下盖之间分别通过锁舌组件扣合连接， 盒体内沿长度方向的两内侧 壁上垂直设有多条隔槽板， 相 邻两条隔槽板 之间形成用于插放晶圆片的置放槽， 因此， 在该 结构的存储盒 中只能通过镊子或者用手直接抓取外延片， 这样可能会造成外延片的周边或 上下表面污染或损伤。 [0004]为了防止外延片污染或者损伤， 技术人员想要改变上述夹取的方式存放外延片， 想要通过吸盘吸附的方式， 实现对外延片的取放， 但是吸盘很难从侧面吸附外延片， 因此就 需要改变存储盒的结构， 使外延片在 存储盒内堆叠放置， 这样就能够吸附外延片的平面， 从 何改变外延 片的取放方式。 实用新型内容 [0005]为此， 本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的外延片存储 盒的存放 方式， 提供一种外延片存储盒， 使外延片能够堆叠放置在 存储盒中， 从而能够改变外延片在 存储盒中的取放方式。 [0006]为解决上述 技术问题， 本实用新型提供了一种外延 片存储盒， 包括： [0007]盒体， 所述盒体内设置有存 储外延片的空腔； [0008]存取运输带， 设置在所述盒体内， 所述存取运输带的延伸方向与所述外延片在盒 体内的堆叠方向相同， 所述存取运输带设置在外延片的侧 面， 所述存取运输带上设置有多 片突出的挡板， 多片所述挡板等间距设置， 任意相邻两片挡板之间能够存放 一片外延 片； [0009]运输带驱动源， 带动所述存取运输带正反转动， 实现外延 片在盒体内的存取动作。 [0010]在本实用新型的一个实施例中， 在所述盒体内设置有多个存取运输带， 多个所述 存取运输带周向均匀分布在外延片的侧面， 通过多个所述存取运输带共同分隔和带动外延 片。 [0011]在本实用新型的一个实施例中， 多个所述存取运输带之间通过齿轮啮合连接， 多 个所述存取运输带由同一 运输带驱动源带动同步 转动。 [0012]在本实用新型的一个实施例中， 所述存取运输带由硅胶材质制成。说　明　书 1/5 页 3 CN 217554611 U 3