(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221980216.5 (22)申请日 2022.07.29 (73)专利权人 深圳市方达 研磨技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区公明街 道上村社区元山工业区B区第34栋 202、 (B区)270 0033号101 (72)发明人 胡敬祥　邱祥文　王选　胡旭南　 (74)专利代理 机构 深圳市查策知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44527 专利代理师 郭晓露 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 47/12(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 41/00(2006.01) (54)实用新型名称 用于硅片减薄机的砂轮调节装置 (57)摘要 本实用新型属于砂轮调节领域， 尤其是用于 硅片减薄机的砂轮调节装置， 针对现有的将硅片 通过砂轮进行粗磨减薄， 减薄完成后， 再将减薄 后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序， 使 得硅 片制作工序十分繁琐， 增加了工作人员的工作 量， 同时也降低了工作效率的问题， 现提出如下 方案， 其包括外箱， 所述外箱的内顶部固定连接 有电动伸缩 杆， 所述电动伸缩 杆的一端固定连接 有第一连接板， 所述第一连接板的下端通过转动 组件转动连接有第二连接板， 两组所述转动轴的 一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮； 本实 用新型在 使用时， 可以对硅片放进行粗磨和细磨 用于硅片减薄， 使得硅片制作工序十分简单， 降 低了工作人员的工作量， 同时也提高了工作效 率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217860386 U 2022.11.22 CN 217860386 U 1.用于硅片减薄机的砂轮调 节装置， 包括外箱(1)， 其特征在于， 所述外箱(1)的内顶部 固定连接有电动伸缩杆(2)， 所述电动伸缩 杆(2)的一端固定连接有第一连接板(3)， 所述第 一连接板(3)的下端通过转动组件转动连接有第二连接板(6)， 所述第二连接板(6)的底部 固定连接有两组第二连接杆(7)， 两组所述第二连接杆(7)的一端固定连接有第三连接板 (8)， 所述第三连接板(8)的顶部固定连接有两组驱动电机(801)， 两组所述驱动电机(801) 输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴(9)， 两组所述转动轴(9)的一端分别固定连 接有粗磨砂轮(10)和细磨砂轮(101)。 2.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置， 其特征在于， 所述转动组件 包括有第一连接杆(5)和固定套(4)， 所述固定套(4)的一端固定连接于第一连接板(3)的底 部， 所述第一连接杆(5)的一端贯穿固定套(4)转动连接于第一连接板(3)的底部， 且第一连 接杆(5)的另一端固定连接于第二连接板(6)的顶部， 所述第一连接杆(5)的外壁上开设有 限位孔。 3.根据权利要求2所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置， 其特征在于， 所述固定套 (4)包括套筒和转动轮， 所述转动轮的一侧设置有螺杆， 所述螺杆的一端螺纹连接于套筒的 外壁上， 所述螺杆与限位 孔呈对应设置 。 4.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置， 其特征在于， 所述外箱(1) 的内底部固定连接有安装支架(11)， 所述安装支架(11)的顶部固定连接有防护圆盘(12)， 所述防护圆盘(12)的一侧开设有凹槽， 且凹槽的内底部固定连接有真空吸盘(13)。 5.根据权利要求4所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置， 其特征在于， 所述安装支架 (11)的一侧设置有冷却回收组件， 所述冷却回收组件包括有水箱(14)和水泵(16)， 且水箱 (14)和水泵(16)均固定连接于安装支架(11)的一侧， 所述水泵(16)吸水端连通有吸水管 (15)， 且吸水管(15)的一端延伸至水箱(14)的内部， 所述水泵(16)的输出端连通有出水管 (17)， 且出水管(17)的一端贯穿防护圆盘(12)并延伸至防护圆盘(12)的内部， 所述安装支 架(11)的内部设置有回收管(18)。 6.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置， 其特征在于， 所述外箱(1) 的一侧通过合页固定连接有箱门(19)， 所述箱门(19)通过 搭扣进行锁紧 固定。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217860386 U 2用于硅片减薄机的砂轮调节装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及砂轮调节技 术领域， 尤其涉及用于 硅片减薄机的砂轮调节装置 。 背景技术 [0002]硅片减薄工艺是一种将硅片背面多余材料去除掉， 以有效的减小硅片的封装体 积， 同时提高器件散热、 机械及电气等方面性能提高的技术， 其中因机械研磨的加工效率 高， 加工后的硅片平整度好， 且成本较低而被封装厂所广泛使用。 [0003]现有的硅片减薄机在使用过程中， 先将硅片 通过砂轮进行粗磨减薄， 减薄完成后， 再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序， 使得硅片制作工序十分繁琐， 增加了工 作人员的工作量， 同时也降低了 工作效率， 因此我们提出用于 硅片减薄机的砂轮调节装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在将硅片通过砂轮进行粗磨减薄， 减 薄完成后， 再将减薄后的硅片放置在抛光机中进 行细磨工序， 使得硅片制作工序十 分繁琐， 增加了工作人员的工作量， 同时也降低了工作效率的缺点， 而提出 的用于硅片减薄机的砂 轮调节装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]用于硅片减薄机 的砂轮调节装置， 包括外箱， 所述外箱的内顶部固定连接有电动 伸缩杆， 所述电动伸缩杆 的一端固定连接有第一连接板， 所述第一连接板的下端通过转动 组件转动连接有第二连接板， 所述第二连接板的底部固定连接有两组第二连接杆， 两组所 述第二连接杆的一端固定连接有第三连接板， 所述第三连接板的顶部固定连接有两组驱动 电机， 两组所述驱动电机输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴， 两组所述转动轴 的一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮。 [0007]优选的， 所述转动组件包括有第一连接杆和固定套， 所述固定套的一端固定连接 于第一连接板的底部， 所述第一连接杆 的一端贯穿固定套转动连接于第一连接板的底部， 且第一连接杆的另一端固定连接于第二连接板的顶部， 所述第一连接杆的外壁上开设有限 位孔。 [0008]优选的， 所述固定套包括套筒和转动轮， 所述转动轮的一侧设置有螺杆， 所述螺杆 的一端螺纹连接 于套筒的外壁上， 所述螺杆与限位 孔呈对应设置 。 [0009]优选的， 所述外箱的内底部固定连接有安装支架， 所述安装支架的顶部固定连接 有防护圆盘， 所述防护圆盘的一侧开设有凹槽， 且凹槽的内底部固定连接有真空吸盘。 [0010]优选的， 所述安装支架的一侧 设置有冷却回收组件， 所述冷却回收组件包括有水 箱和水泵， 且水箱和水泵均固定连接于安装支架的一侧， 所述水泵吸水端连通有吸水管， 且 吸水管的一端延伸至水箱的内部， 所述水泵的输出端连通有出水管， 且出水管 的一端贯穿 防护圆盘并延伸至防护圆盘的内部， 所述 安装支架的内部设置有回收管。 [0011]优选的， 所述外箱的一侧通过合页 固定连接有箱门， 所述箱门通过搭扣进行锁紧说　明　书 1/4 页 3 CN 217860386 U 3