(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123415267.1 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 辽宁冷芯半导体科技有限公司 地址 110168 辽宁省沈阳市 浑南区浑南 东 路15-3号8B栋 (72)发明人 邰凯平　郭力铜　赵洋　聂鹏程　 孙东明　成会明　 (51)Int.Cl. G01R 1/04(2006.01) G01R 31/26(2014.01) (54)实用新型名称 一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴 快速转换装置 (57)摘要 本实用新型涉及半导体芯片性能测试时工 装夹具领域， 具体为一种用于半导体 芯片扫频振 动测试的三轴快速转换装置。 主要包括气动缸、 气动顶杆、 夹紧片、 芯片台、 底座。 其中底座上开 有限位导轨条和限位槽。 芯片台为正立方体， 其 任何一面可在限位导轨条中间左右滑动。 气动缸 底部安装于底 座上。 气动顶杆一端水平方向装配 于气动缸内， 另一端连接有夹紧片， 气动顶杆在 气缸的作用下可以自由伸缩。 夹紧片在气动顶杆 自由伸缩的带动下， 可以推着芯片台在限位导轨 条间自由滑动， 并使 得芯片台右侧端部分进入限 位槽内。 本实用新型通过气动缸、 气动顶杆、 夹紧 片、 芯片台、 底座的配合使用下， 转换芯片台的方 向， 实现一次粘贴就可以完成芯片三个轴上的振 动测试， 节省了测试时间， 并减少了焊接过程中 胶水和焊锡侵入芯片内部的概 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217156569 U 2022.08.09 CN 217156569 U 1.一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 其特征是： 主要包括气动 缸(1)、 气动顶杆(2)、 夹紧片(3)、 芯片台(4)、 底座(5)， 其中底座上开有限位导轨条(51)和 限位槽(52)， 芯片台(4)为正立方体， 其任何一面可在限位导轨条(51)中间左右滑动， 气动 缸(1)底部安装于底座(5)上， 气动顶杆(2)一端水平方向装配于气动缸(1)内， 另一端连接 有夹紧片(3)， 气动顶杆(2)在气动缸(1)的作用下可以自由伸缩， 夹紧片(3)在气动顶杆(2) 自由伸缩的带动下， 可以推着芯片台(4)在限位导轨条(51)自由滑动， 并使得芯片台(4)右 侧端部分进入限位槽内(52)。 2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 其 特征是： 所述芯片台(4)为正立方体， 即任何方位放置在限位导轨条(51)内和进入限位槽 (52)不受影响。 3.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 其 特征是： 所述芯片台(4)任何方位滑入限位 导轨条(51)内和进入限位槽(52)中为紧配合。 4.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 其 特征是： 所述气动顶杆(2)在气动缸(1)作用下 具有自由伸缩性。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217156569 U 2一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体芯片性能测试时工装夹具领域， 具体为一种用于半导体芯 片扫频振动测试的三轴快速转换装置 。 背景技术 [0002]在半导体芯片使用场景中不可避免的存在不同频率的振动， 因此芯片生产过程 中， 为了确定振动对芯片性能的影响， 会对芯片进行扫频振动测试。 在GJB548B ‑2005方法 2007中规定 了扫频振动测试需要在芯片的X、 Y、 Z三轴上分别进行测试。 [0003]现有振动测试仪提供的测试台为平面测试台， 平面测试台不能调转方向， 而因扫 频振动测试频扫也为上下一个固定方向 （如图1双箭头所示） 。 所以用胶水或焊锡固定在平 面测试台上的芯片， 如果进 行XYZ三轴的三个轴面测试就需要进 行三次调转方向。 并且用胶 水或焊锡固定好后的芯片， 每次振动测试后都要重新取下来， 调转方向， 再用胶水或焊锡固 定。 这样不但耗时、 耗力， 从而严重影响了测试效率， 并且芯片多次被装贴大大增加了胶水 或焊锡进入芯片内部从而损坏芯片的概 率。 发明内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提出一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴 快速转换装置， 解决扫频振动测试中芯片进行三次装贴， 等待胶水固化或焊锡熔化的时间 较长带来的效率低下问题， 同时降低胶水和焊锡侵入芯片内部的概 率。 [0005]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技 术方案予以实现： [0006]一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置主要包括气动缸、 气动顶 杆、 夹紧片、 芯片台、 底座； [0007]其中底座上开有限位导轨条和限位槽； 芯片台为正立方体， 其任何一面可在限位 导轨条中间左右滑动。 气动缸底部安装于底座上。 气动顶杆一端 水平方向装配于气动缸内， 另一端连接有夹紧片， 气动顶杆在气动缸 的作用下可以自由伸缩。 夹紧片在气动顶杆自由 伸缩的带动下， 可以推着芯片 台在限位导轨条自由滑动， 并使得芯片台右侧端部分进入限 位槽内。 [0008]所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 芯片台为正立方 体， 即任何方位 放置在限位 导轨条内和进入限位槽不受影响。 [0009]所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 芯片台任何方位 滑入限位 导轨条内和进入限位槽中为紧配合， 紧配合保证了芯片测试时稳固性。 [0010]所述的一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置， 气动 顶杆在气动 缸作用下 具有自由伸缩性。 [0011]有益效果 [0012]本实用新型提供了一种用于半导体芯片扫频振动测试的三轴快速转换装置。 与现 有技术相比具 备以下有益效果：说　明　书 1/3 页 3 CN 217156569 U 3