(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123417376.7 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 日本电产理德机 器装置(浙江)有 限公司 地址 314200 浙江省嘉兴 市平湖经济开发 区繁荣路5 50号内1号楼西侧 (72)发明人 长沼正树　何幼峰　孙栋　 (74)专利代理 机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 沈捷 (51)Int.Cl. G01R 1/04(2006.01) (54)实用新型名称 大型检查夹具 (57)摘要 一种大型检查夹具， 即使供探针突出的承接 面较大， 也容易确保承接面的平面度， 从而提高 检查精度。 本实用新型的大型检查夹具包括： 具 有承接检查对象的承接面的检查侧支承体； 与检 查侧支承体隔开间隔的电极侧支承体； 连接构 件， 其将检查侧支承体与电极侧支承体连接； 以 及具有挠性且贯穿电极侧支承体和检查侧支承 体而从承接面突出的探针， 检查侧支承体包括沿 垂直于承接面的第一方向层叠且分别具有供探 针贯穿的通孔的多块板， 多块板是具有承接面的 承接板以及从电极侧支承体侧支承承接板的加 强板， 加强板的通孔的最小孔径大于承接板的通 孔的最大孔径， 在沿第一方向观察时， 承接板的 所有通孔均落在加强板与承接板抵接的区域的 外轮廓的内侧。 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 CN 216670073 U 2022.06.03 CN 216670073 U 1.一种大型检查夹具， 包括： 检查侧支承体， 该检查侧 支承体具有承接检查对象的承接 面； 电极侧支承体， 该电极侧支承体位于所述检查侧支承体的与所述承接面相反的一侧， 且 与所述检查侧支承体隔开间隔； 连接构件， 该连接构件将所述检查侧支承体与所述电极侧 支承体连接； 以及探针， 该探针具有挠性， 且依次贯穿所述电极侧支承体和所述检查侧支承 体而从所述承接面 突出， 其特 征在于， 所述检查侧支承体包括多块板， 所述多块板沿垂直于所述承接面的第一方向层叠， 且分别具有供所述探针贯穿的通 孔， 所述多块板是承接 板和加强板， 所述承接 板具有所述承接面， 所述加强板从所述电极侧支承体侧与所述承接 板抵接， 所述加强板的所述 通孔的最小孔径大于所述承接 板的所述 通孔的最大孔径， 在沿所述第 一方向观察 时， 所述承接板的所有所述通孔均落在所述加强板与 所述承接 板抵接的区域的外轮廓的内侧。 2.如权利要求1所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述加强板的所述 通孔设置成避开所述探针在检查时的运动轨 迹。 3.如权利要求1所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述连接构件 包括中心 柱， 所述中心 柱的一端支承于所述检查侧支承体的在沿所述第一方向观察时的中心位置， 所述中心 柱的另一端支承于所述电极侧支承体。 4.如权利要求3所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述中心 柱的一端经由螺钉固定 于所述检查侧支承体。 5.如权利要求3所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述中心 柱的另一端经由螺钉固定 于所述电极侧支承体。 6.如权利要求5所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 在所述承接 板的沿所述第一方向观察时与所述中心 柱重叠的部分 设置有第一 贯穿孔， 在所述加强板的沿所述第一方向观察时与所述中心 柱重叠的部分 设置有第二 贯穿孔， 所述中心 柱的靠近所述承接面的端部插 入所述第二 贯穿孔， 所述中心 柱具有从靠 近所述承接面的端面朝向远离所述承接面的方向凹陷的凹陷部， 所述螺钉经由所述第一 贯穿孔拧入所述凹陷部的底部 。 7.如权利要求6所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述电极侧支承体具有朝向远离所述承接面的方向凹陷且与所述中心柱的另一端嵌 合的凹部 。 8.如权利要求1所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述承接 板包括沿第一方向层叠的第一板和第二板， 所述加强板的板厚为所述承接 板的板厚以上。 9.如权利要求1所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 在沿所述第一方向观察时， 所述承接板的外轮廓与所述加强板的外轮廓一致， 或落在 所述加强板的外轮廓的内部 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216670073 U 210.如权利要求1所述的大 型检查夹具， 其特 征在于， 所述连接构件 包括立柱， 所述立柱对所述检查侧支承体的沿所述第一方向观察时的边 缘附近进行支承。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216670073 U 3